[发明专利]气体净化装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种例如有机EL（电致发光）显示器等的制造工序中使用的合适的气体净化装置。

背景技术

有机EL元件是利用两个电极间的有机材料被电压激发并在再次返回到初始状态时放出光的现象的自然发光型元件。将多个RGB各发光层的有机EL元件被配置成矩阵状而构成有机EL显示器。

该有机EL显示器具有功耗低、发热量少且薄而轻的特性。并且，有机EL显示器的画质具有色彩再现性良好、对比度高、动画响应性高和峰值精度高、无视角依赖性等优异的特性。

有机EL显示器的有机材料具有接触水或氧气时容易劣化的特性。于是，在有机EL显示器的制造时，在真空下或者氮气或氩气等惰性气体的环境下，通过真空蒸镀，在基板上使RGB各发光层等的金属电极材料成膜，并且在不接触大气的状态下进行玻璃的粘着、密封等。

另外，在惰性气体的环境下制造有机EL显示器时，有时利用罩体覆盖长生产线的整体并且在该罩体的内部填充惰性气体。然而，有时惰性气体被在制造工序中产生的尘埃或者微小片（以下简称为异物）污染，从而通常利用气体净化装置对所述罩体内的惰性气体进行清洁以除去异物。

在此，作为有机EL显示器制造有关的现有技术，例如公知有专利文献1,2所记载的装置。

在专利文献1,2所记载的装置中，在密封的容器中都收纳有电动鼓风机。在专利文献1中，采用使气体接触冷却板以进行热交换并利用与该冷却板接触的水冷管来进行散热的结构。另外，在专利文献2中，利用电动鼓风机产生的风来冷却鼓风机的马达而进行自冷却。

专利文献1：（日本）特开2007-198364号公报（图1～图3等）

专利文献2：（日本）特开2008-128224号公报（图1～图4等）

在专利文献1的图1和图2所记载的装置中，由于利用小型冷却机构进行热交换，因此存在与惰性气体的接触面积小、冷却效果差的问题。

另外，在专利文献2的图1、图2和图4所记载的装置中，由于冷却风扇送出惰性气体冷却马达，因此有可能导致从冷却风扇机构产生的异物混入惰性气体中。并且，如果不将冷却风扇机构设置成气密结构，则除了异物之外，有可能从周围大气混入，如果大气混入，则有机材料与水或者氧气接触而劣化，从而存在因产生不能发光的称之为黑斑的不良部位而使产品的成品率降低等问题。

发明内容

于是，本发明的解决问题在于提供一种在防止异物混入和大气侵入的同时净化气体并能够高效地冷却鼓风机内的马达的气体净化装置。

为了解决上述问题，本发明第一方面的气体净化装置的特征在于，包括密封鼓风源，该密封鼓风源具有：具有从外部被隔开的内部空间的密封壳体；将被过滤器净化的气体导入到所述内部空间的气体导入部；收纳于所述密封壳体内并将从所述内部空间吸入的所述气体送出的鼓风机；以覆盖所述鼓风机的周围的方式配置并冷却所述内部空间的冷却机构；将所述鼓风机送出的所述气体向外部导出的气体导出部。

本发明第二方面的气体净化装置的特征在于，在本发明第一方面的气体净化装置的基础上，在所述密封鼓风源中，所述气体导入部包括使从外部供给到的气体流入的气体流入口和配置于该气体流入口和所述鼓风机之间且带有使气体向所述内部空间放出的通孔的开放放出部；并且，所述气体导出部包括使由所述鼓风机送出的气体通过的送气部和用于使通过该送气部的气体排出到外部的气体流出口。

本发明第三方面的气体净化装置的特征在于，在本发明第一方面的气体净化装置的基础上，在所述密封鼓风源中，所述气体导入部包括使从外部供给到的气体流入的气体流入口和配置于该气体流入口和所述鼓风机之间使气体向所述内部空间放出的硬管；并且，所述气体导出部具有使由所述鼓风机送出的气体通过的送气部和用于使通过该送气部的气体排出到外部的气体流出口。

本发明第四方面的气体净化装置的特征在于，在本发明第二或第三方面的气体净化装置的基础上，所述密封鼓风源还包括冷却所述气体导入部的气体流入口的周围和所述气体导出部的气体流出口的周围的第二冷却机构。

本发明第五方面的气体净化装置的特征在于，包括：使从外部供给的气体通过的前置过滤器；本发明第一至第三方面中的任一方面所述的被供给通过该前置过滤器的气体的密封鼓风源；冷却从该密封鼓风源排出的气体的热交换器；使被该热交换器冷却的气体通过的HEPA过滤器。

本发明第六方面的气体净化装置的特征在于，在本发明第五方面所述的气体净化装置的基础上，所述前置过滤器、所述密封鼓风源、所述热交换器和所述HEPA过滤器收纳于单一的外壳内。