[发明专利]有机物沉积装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种有机物沉积装置，更为详细地涉及一种通过蒸发法在基板上沉积有机物的有机物沉积装置。

背景技术

在制造有机电致发光显示装置时普遍使用有机物沉积装置。例如，所述有机电致发光显示装置可包括阳极、阴极和设置在这两个电极之间的空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层及电子注入层。此时，可通过所述有机物沉积装置在基板上沉积有机物，从而形成所述空穴注入层、所述空穴传输层、所述有机发光层、所述电子传输层及所述电子注入层。

另外，一般来讲在基板上沉积有机物时普遍使用蒸发法（evaporation）。根据所述蒸发法，在腔室内配置有用于加热有机物使之蒸发的沉积源，而且在基板上沉积通过所述沉积蒸发的有机物。然而，所述蒸发法需要在所述腔室的内部空间配置所述基板及掩模，因此由于所述基板及所述掩模的荷载，可能会导致所述掩模外形的变形。所以，随着所述基板大小的增加，所述问题会更加严重，为此正在研究解决该问题的诸多方法。

发明内容

本发明的目的是提供一种有机物沉积装置，该装置在基板上有效地沉积有机物，从而更加适合于批量生产。

为了实现本发明的所述目的，本发明的有机物沉积装置包括工艺腔室、第一输送轨道、第二输送轨道、至少一个掩模组合体、至少一个基板组合体及至少一个沉积源。

所述第一输送轨道及所述第二输送轨道分别配置在所述工艺腔室的内部，所述第二输送轨道与所述第一输送轨道隔开并配置在所述第一输送轨道的上部。所述掩模组合体与所述第一输送轨道结合并沿所述第一输送轨道输送，所述基板组合体与所述基板及所述第二输送轨道结合并沿所述第二输送轨道输送。而且，所述沉积源配置在所述工艺腔室的内部并向所述掩模组合体及所述基板组合体侧提供所述有机物。

根据本发明的有机物沉积装置，配置有基板的基板组合体与配置有掩模的掩模组合体隔开，因此在所述基板上沉积有机物时，所述掩模不会受到所述基板的荷载，故能够防止因所述荷载所致的所述掩模外形的变形。所以，使用所述有机物沉积装置能够更加容易地在大型基板上沉积有机物。

而且，根据本发明的有机物沉积装置，在一个工艺腔室内可配置彼此相同或不同的多个沉积源、多个基板组合体及多个掩模组合体，因此能够对配置在所述多个基板组合体的多个基板同时沉积彼此相同或彼此不同的有机物。因此能够缩短有机物沉积工序所需的时间，而且能够更加有效地实现在沉积有机物时所需的装置结构。

附图说明

图1是本发明的第一实施例的有机物沉积装置的剖视图。

图2是图1所示工艺腔室内部的局部放大立体图。

图3a是图2所示掩模组合体的分解立体图。

图3b是图2所示基板组合体的分解立体图。

图4是本发明的另一实施例的有机膜沉积装置的剖视图。

图5是图4所示掩模组合体的分解立体图。

图6是本发明的又一实施例的有机物沉积装置的剖视图。

图7是本发明的又一实施例的有机物沉积装置的剖视图。

符号说明

10：掩模组合体      50：基板组合体

OM：开放掩模        PM：构图掩模

MC：掩模载体        SB：基板

CK：夹紧部件        SC：基板载体

RL1：第一输送轨道   RL2：第二输送轨道

PC：工艺腔室        C1：第一辅助腔室

C2：第二辅助腔室    DR1：送入口

DR2：送出口         SR：传感部

S1：第一沉积源      100：有机物沉积装置

具体实施方式

下面参照附图详细说明本发明的实施例。通过与附图相关的实施例能够容易理解本发明的所述目的、特征及效果。但是，本发明并不局限于在此说明的实施例，可以以多种形态应用变形。反而，将在后面描述的本发明的实施例是为了更加明确地说明本发明公开的技术思想进而为了向本发明所属领域中具有平均知识的技术人员充分地传递本发明技术思想而提供的。因此，本发明的范围不应解释为仅局限于以下实施例。另外，在以下实施例和附图中的相同的附图标记表示相同的结构要素。

图1是本发明的第一实施例的有机物沉积装置的剖视图，图2是图1所示工艺腔室内部的局部放大立体图。