[发明专利]一种高致密度大尺寸AZO靶材坯体的成型工艺

权利要求书

1.一种高致密度大尺寸AZO靶材坯体的成型方法，其包括以下步骤：首先将ZnO和Al₂O₃超微粉混合造粒后，加去离子水、分散剂、固化剂和表面活性剂进行混合制浆，注入模具内成型，经过干燥、脱蜡后，得到相对密度为65％-75％的高密度大尺寸的AZO靶材坯体。

2.按照权利要求1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：氧化锌和氧化铝超微粉混合后氧化铝占总粉体质量的1-3wt％(质量分数)。

3.按照权利要求1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述造粒方式为喷雾造粒，造粒后混合粉体的平均粒度在5μm-30μm(微米)，粉体流动性：60s(秒)/50g(克)-90s(秒)/50g(克)。

4.按照权利要求1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述去离子水的加入量为造粒后混合粉体质量的15-40wt％(质量分数)。

5.按照权利要求1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述分散剂为丙烯酰胺，其加入量为混合粉体质量的0.5-1.5wt％(质量分数)。

6.按照权利要求1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述固化剂为阿拉伯树胶粉，其加入量为混合粉体质量的0.1-1wt％(质量分数)。

7.按照权利要求1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述表面活性剂为无水乙醇，其加入量为混合粉体质量的0.5-2wt％(质量分数)。

8.按照权利要求1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述试剂可依顺序依次添加到粉体中，也可将试剂与去离子水混合成溶液后一起加入到粉料中。

9.按照权利要求1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述混合制浆方式为滚筒真空球磨，球磨时间为1h-5h(小时)。

10.按照权利要求1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述注浆过程在真空环境下进行。

11.按照权利1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述干燥过程在恒温恒湿环境下进行，相对湿度：30％-70％，温度：30℃-50℃(摄氏度)。当坯体恒重时将其进行脱蜡。

12.按照权利1所述的制备高致密度大尺寸AZO靶材坯体的方法，其特征是：上述脱蜡温度在脱蜡炉中进行，脱蜡温度：100℃-500℃(摄氏度)，升温速度：3℃-5℃(摄氏度)/min(分钟)，最高温度保温时间：2h-5h(小时)。