[发明专利]真空干燥腔室排气系统及方法无效
| 申请号： | 201310300807.2 | 申请日： | 2013-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104296520A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 黄昱嘉;杨靖哲;黄正义 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/00 | 分类号： | F26B25/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张然;李昕巍 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 干燥 排气 系统 方法 | ||
1.一种真空干燥腔室排气系统，其特征在于，包括：
多个排气口，设置在真空干燥腔室外；
排气泵，通过排气管连接该多个排气口。
2.如权利要求1所述的真空干燥腔室排气系统，其中，真空干燥腔室排气系统还包括：PLC，用于控制该排气泵的开启和关闭。
3.如权利要求1所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该多个排气口环绕该真空干燥腔室的外侧设置。
4.如权利要求3所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该多个该排气口设置在排气腔上，该排气腔环绕该下腔体的外侧设置，排气腔连接该排气管，该排气管连接该排气泵。
5.如权利要求1所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该排气管与该排气泵之间设置有阀门。
6.如权利要求5所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该阀门为电控阀门；还包括：一PLC，用于控制该电控阀门的开关。
7.一种真空干燥腔室排气的方法，其特征在于，真空干燥腔室排气系统包括，多个排气口，设置在真空干燥腔室外，排气泵通过排气管连接该多个排气口；真空干燥腔室排气的方法包括：
在将待干燥基板放入该真空干燥腔室时，通过该排气泵进行排气。
8.如权利要求7所述的真空干燥腔室排气的方法，其中，
在真空干燥腔室关闭后，停止通过该排气泵进行排气；
在将干燥后的基板自该真空干燥腔室取出时，通过该排气泵进行排气。
9.如权利要求7所述的真空干燥腔室排气的方法，其中，通过PLC控制该排气泵的开启和关闭。
10.如权利要求7所述的真空干燥腔室排气的方法，其中，将该多个排气口环绕该真空干燥腔室的下腔体外侧设置。
11.如权利要求10所述的真空干燥腔室排气的方法，其中，将该多个该排气口设置在该排气腔上，将该排气腔环绕该下腔体的外侧设置，排气腔连接该排气管，该排气管连接该排气泵。
12.如权利要求7所述的真空干燥腔室排气的方法，其中，将阀门设置在该排气管与该排气泵之间，开启该阀门，则开始通过该排气泵进行排气；关闭该阀门，则停止通过该排气泵进行排气。
13.如权利要求12所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该阀门选择为电控阀门，并通过PLC控制该电控阀门的开关。
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