[发明专利]真空干燥腔室排气系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种真空干燥腔室的排气系统及方法。

背景技术

图1所示为一种现有的真空干燥腔室的示意图，参考图1，腔室12由上腔体13以及下腔体14组成。一般现有的真空干燥腔室内部设置有排气口，可以将腔室内高浓度的溶解物的挥发气体排出。但是，在腔室12取放基板9的过程中，依然会有部分高浓度的溶解物的挥发气体溢出到真空腔室12的空气中。如此，就会对腔室周围的环境产生危害。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空干燥腔室排气系统，用以解决现有的真空干燥腔室在腔室取放基板的过程中，部分高浓度的溶解物的挥发气体溢出到真空腔室外的空气中，进而会对腔室周围的环境产生危害的问题。

本发明一种真空干燥腔室排气系统，其中，包括：多个排气口，设置在真空干燥腔室外；排气泵，通过排气管连接该多个排气口。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，真空干燥腔室排气系统还包括：PLC，用于控制该排气泵开关。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，该多个排气口环绕该真空干燥腔室的外侧设置。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，该多个该排气口设置在排气腔上，该排气腔环绕该下腔体的外侧设置，排气腔连接该排气管，该排气管连接该排气泵。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，该排气管与该排气泵之间设置有阀门。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，该阀门为电控阀门；一PLC，用于控制该电控阀门的开关。

本发明还提供了一种真空干燥腔室排气的方法，其中，本方法通过上述的真空干燥腔室排气系统实现，该方法包括：在将待干燥基板放入该真空干燥腔室时，通过该排气泵进行排气。

本发明还提供了一种真空干燥腔室排气的方法，其中，在真空干燥腔室关闭后，停止通过该排气泵进行排气；在将干燥后的基板自该真空干燥腔室取出时，通过该排气泵进行排气。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，通过PLC控制该排气泵开关，以控制该排气泵开始或停止排气。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，将该多个排气口环绕该真空干燥腔室的下腔体外侧设置。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，，将该多个该排气口设置在该排气腔上，将该排气腔环绕该下腔体的外侧设置，排气腔连接该排气管，该排气管连接该排气泵。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，将阀门设置在该排气管与该排气泵之间，开启该阀门，则开始通过该排气泵进行排气；关闭该阀门，则停止通过该排气泵进行排气。

根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，该阀门选择为电控阀门，并通过PLC控制该电控阀门的开关。

综上所述，本发明是通过在真空干燥腔室的外部设置多个排气口，使得在腔室取放基板的过程中，能够通过真空干燥腔室的外部的多个排气口将腔室内高浓度的溶解物的挥发气体排出，减少了在此过程中可能产生的环境危害。

附图说明

图1所示为一种现有的真空干燥腔室的示意图；

图2所示为本发明真空干燥腔室排气系统的示意图；

图3为基板放入真空腔室时的真空干燥腔室排气系统状态图；

图4为真空干燥腔室关闭后的状态图；

图5为基板自真空腔室取出后的真空干燥腔室排气系统状态图。

具体实施方式

图2所示为本发明真空干燥腔室排气系统的示意图，如图2所示，本发明真空干燥腔室排气系统包括：多个排气口5，排气泵1，排气泵阀门8，真空腔室2，排气腔6以及排气管7。真空腔室2包括上腔部3以及下腔部4。

参考图2，本实施例的真空干燥腔室排气系统的连接结构为，排气腔6围绕真空腔室2的下腔部3的外侧设置。排气腔6上设置有多个排气口5。排气腔6连接排气管7，排气管7与排气泵1连接。排气管7上可以设置阀门8以控制排气管7的通断。

对于一种较佳的实施方式，可以通过一PLC（未图示）连接排气泵1以控制排气泵1的开关。另外，在设置阀门8的情况下，可以将阀门8设置为电动阀门，并将PLC与电动阀门8连接，如此，亦可通过PLC来控制电动阀门8的开关。

由于现有的真空腔室2一般自身配备有PLC，故上述的PLC可以采用真空腔室2自身的PLC编程后对排气泵1和/或电动阀门进行控制。