[发明专利]输片协作的多个机器人设备的调度方法及系统

权利要求书

1.一种输片协作的多个机器人设备的调度方法，其特征在于，包括以下步骤：

接收所述多个机器人设备的待处理任务；

对所述多个机器人设备进行配置，并生成配置信息；

根据所述配置信息、所述多个机器人设备的拓扑结构、路径列表和晶圆列表生成对所述多个机器人设备进行有序调度的调度序列；以及

根据所述调度序列和所述多个机器人设备的待处理任务对所述多个机器人设备进行调度控制，使所述多个机器人设备协同完成所述待处理任务。

2.如权利要求1所述的输片协作的多个机器人设备的调度方法，其特征在于，所述根据所述配置信息、所述多个机器人设备的拓扑结构、路径列表和晶圆列表生成对所述多个机器人设备进行有序调度的调度序列的步骤，进一步包括：

根据每个机器人设备的动作与对应机器人设备的状态关系建立所述动作与状态的对应关系；以及

根据所述动作与状态的对应关系、所述路径列表和所述晶圆列表生成所述调度序列。

3.如权利要求1所述的输片协作的多个机器人设备的调度方法，其特征在于，所述配置信息包括所述多个机器人设备的类型、容量、位置和处理时间。

4.如权利要求1所述的输片协作的多个机器人设备的调度方法，其特征在于，当所述待处理人物所对应的动作为多个时，从所述多个动作中选择运行时间最短的动作。

5.一种输片协作的多个机器人设备的调度系统，其特征在于，包括：

接收模块，用于接收所述多个机器人设备的待处理任务；

配置模块，用于对所述多个机器人设备进行配置，并生成配置信息；

生成模块，用于根据所述配置信息、预存在所述生成模块中的多个机器人设备的拓扑结构、路径列表和晶圆列表生成对所述多个机器人设备进行有序调度的调度序列；以及

调度模块，用于根据所述调度序列和所述多个机器人设备的待处理任务对所述多个机器人设备进行调度控制，使所述多个机器人设备协同完成所述待处理任务。

6.如权利要求5所述的输片协作的多个机器人设备的调度系统，其特征在于，所述生成模块具体包括：

关联单元，用于根据每个机器人设备的动作与对应机器人设备的状态关系建立所述动作与状态的对应关系；以及

生成单元，用于根据所述动作与状态的对应关系、所述路径列表和所述晶圆列表生成所述调度序列。

7.如权利要求5所述的输片协作的多个机器人设备的调度系统，其特征在于，所述配置信息包括所述多个机器人设备的类型、容量、位置和处理时间。

8.如权利要求5所述的输片协作的多个机器人设备的调度系统，其特征在于，所述调度模块还用于当所述待处理操作所对应的动作为多个时，从所述多个动作中选择运行时间最短的动作。