[发明专利]输片协作的多个机器人设备的调度方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及计算机技术领域，特别涉及一种输片协作的多个机器人设备的调度方法及系统。

背景技术

（1）输片协作多个机器人设备

多个机器人调度设备包括LoadPort、Robot1、Buffer、Loadlock、Robot2及其周边PM、Robot3及其周边PM。其中，LoadPort用于放置盛放晶圆的Cassette，其个数和位置可进行配置。Robot1旋转角速度、上下移动速度、伸缩速度可进行配置。在晶圆传入时，Robot1可将晶圆从LoadPort上的Cassette传到传送Buffer或者直接传到Loadlock1上，Wafer判断是否经过传入Buffer进行配置。在晶圆传出时，可将晶圆从Loadlock2传到传出Buffer或者直接传到LoadPort上的Cassette的slot上，Cassette的每个Slot放置一片晶圆，在Slot To Slot工艺模式下晶圆放回源Slot。在Convert模式下将晶圆放回到Cassette的n（Cassette总Slot数）-m（晶圆源Slot号）+1位置，Buffer的个数、容量、作为传入或是传出缓存、位置可进行配置。LoadLock1作为传入通道，通过Vent和Pump气体转换大气和真空环境，Vent和Pump时间可进行配置，机械手传片前是否做Vent或Pump操作取决于LoadLock的当前状态，由此保证真空机械手访问真空状态，大气机械手访问大气状态，Robot1向LoadLock1传片前，Loadlock1是真空则执行Vent操作，否则可以直接传片，Robot1将晶圆传到Loadlock1后，可以立即执行Pump操作，也可以放入一批晶圆后一起进行Pump操作，操作完成后Robot2可将晶片从LoadLock1传入目的腔室。腔室个数、位置、容量、准备时间以及加工时间可进行配置。晶圆在腔室执行完工艺后，由Robot2传到LoadLock3上，执行完配置的操作后（无需执行Vent或Pump操作，可能会有冷却等操作，配置加工时间），Robot3可将晶圆传到其周边腔室继续进行加工，等加工完毕再由Robot3传输到LoadLock4上，晶圆在Loadlock4上执行完配置的操作后由Robot2传到Loadlock2，再由Robot1传到传出Buffer，或者直接传回LoadPort上Cassette的Slot上；以上执行流程以图1示例为准，调度流程由系统硬件结构配置决定。

（2）基于启发式规则的调度方法

基于启发式规则的方法属于求解制造过程调度问题的近似方法之一。该类方法又可分为简单启发式方法和复杂启发式方法两种。简单启发式方法一般是指根据工件的某些属性（例如，加工时间、交货期、剩余加工时间和已完成加工时间等）及车间加工环境的一些特性（例如，机器利用率和缓冲区长度等）直接决定工件上机优先权的一类调度方法。常见的调度规则包括加工时间最短（Smallest Processing Time,SPT)规则、加工时间最长(Largest Processing Time,LPT）规则和交换期最早(Earliest Due Date,EDD)规则等。

为进一步利用调度问题求解过程获得的相关信息以提高简单启发式方法的调度效果，在基于简单启发式方法的研究基础上，一些学者还提出了复杂启发式方法，主要包括Johnson算法、SBP算法、SVS算法和PH算法等。该类方法能方便地融入有经验调度者的知识。

（3）基于状态分析的系统控制技术

概括来说，首先，对该系统中的各个设备特性进行了深入的分析，归纳其可能的工作状态。其次，深入分析了系统中各个机器人的动作特征，归纳所有可能的动作类别。然后，将特定的设备工作状态附着在具体的机器人执行动作上，作为该动作执行的约束条件。最后，每个机器人动作执行完成后需要重置该动作涉及的设备状态。因此，整个协作多个机器人设备的工作要素可以分解为动作和状态两大部分，动作引起设备状态转换，而设备状态是动作执行的约束条件。

现有技术中存在调度复杂，效率低等缺陷。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决上述的技术缺陷之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种输片协作的多个机器人设备的调度方法。所述调度方法具有调度效率高的优点。

本发明的另一目的在于提出一种输片协作的多个机器人设备的调度系统。