[发明专利]电熔丝结构有效
申请号: | 201310315333.9 | 申请日: | 2013-07-24 |
公开(公告)号: | CN104347588B | 公开(公告)日: | 2017-09-26 |
发明(设计)人: | 孙光宇 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电熔丝 结构 | ||
1.一种电熔丝结构,其特征在于,包括:
电熔丝,所述电熔丝包括至少三段首尾相连的子熔丝,首尾相连的两段子熔丝之间的夹角大于0度小于180度;
分别位于所述电熔丝两端、并与电熔丝连接的阳极和阴极,所述阳极具有面向阴极的第一正面,所述阴极具有面向阳极的第二正面,阳极的第一正面、阴极的第二正面分别与电熔丝连接,第一正面与第二正面平行,第一正面与第二正面的正对面积小于或者等于,第一正面的面积和第二正面的面积中的最小值,所述阳极具有与第一正面相连的第一侧面,所述阴极具有与第二正面相连的第二侧面,阳极的第一侧面、阴极的第二侧面分别与电熔丝连接,且与所述阳极连接的子熔丝和与所述阴极连接的子熔丝具有正对面积,与所述阳极连接的子熔丝和与所述阴极连接的子熔丝的正对面积,大于所述第一正面的面积和所述第二正面的面积;
其中,在同步形成所述电熔丝结构与金属互连线的过程中,所述电熔丝结构所在区域的电路布局密度与金属互连线的电路布局密度一致,且所述电熔丝结构所在区域不设置伪电熔丝。
2.根据权利要求1所述的电熔丝结构,其特征在于,首尾相连的两段子熔丝之间的夹角为90度。
3.根据权利要求1所述的电熔丝结构,其特征在于,和所述阳极连接的子熔丝与阳极之间的夹角为90度。
4.根据权利要求1所述的电熔丝结构,其特征在于,和所述阴极连接的子熔丝与阴极之间的夹角为90度。
5.根据权利要求1所述的电熔丝结构,其特征在于,至少有两段子熔丝具有正对面积。
6.根据权利要求1所述的电熔丝结构,其特征在于,所述阳极、阴极及电熔丝的材料为金属。
7.根据权利要求6所述的电熔丝结构,其特征在于,所述金属为铜或铝。
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