[发明专利]一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置有效
| 申请号： | 201310317812.4 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN103418206A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 梁小朝;黄源;尹云舰;连杰;龚升 | 申请（专利权）人： | 杭州格林达化学有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市萧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 乙醇 蒸汽 辅助 半导体 面板 生产 有机 废气 回收 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置，其特征在于：所述有机废气回收装置包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置，所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽，所述除水器的进口为有机废气入口，所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收层连通，所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置连接，所述回收槽的底部与排出管连接，所述排出管上安装阀门。
2.如权利要求1所述的乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置，其特征在于：所述乙醇吸收装置的出液口与蒸馏塔连接。
3.如权利要求1或2所述的乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置，其特征在于：所述回收槽的下部设有引流管，所述引流管的上端与所述吸收液喷洒层连通，所述引流管内安装循环泵。
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