[发明专利]一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种有机废气回收装置。

背景技术

目前，国内半导体晶圆制造厂及TFT-LCD面板厂制程中需要使用大量有机溶液产生大量有机废气（VOCs）。其中，光刻胶剥离工序是产生有机废气的主要工序之一。目前所用的光刻胶剥离液（stripper）主要成分为高沸点而且几乎全溶于水的有机溶液，如乙醇胺（MEA），二甲基亚砜（DMSO），乙二醇单丁醚（BDG）等。有机废气对人体直接影响很大，由于其具有渗透、脂及挥发等作用，人体与之接触或经呼吸消化系统造成危害。某些有机废气不但容易造成作业环境空气品质恶化，而且经光化作用所造成二次污染。所以必须加以处理后方可直接排放到大气中。焚烧法是目前被各半导体/面板厂所广泛采用的有机废气处理方法。该方法由于废气中有机成分浓度通常不足所以需要提供燃烧能量，因此保持高温的燃料费用十分可观。

或者采用就地安装冷凝器加以回收处理，但是此类方法需要以冷冻设备将操作温度控制在相当低温（-20℃左右）以及停留足够长的时间，方能确保处理后废气所含有机废气含量达到最低。因此所需付出的能源和设备维护成本将都会相当的高。

发明内容

为了克服已有有机废气回收装置的成本较高、能耗较大的不足,本发明提供了一种节省成本、降低能耗的乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置，包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置，所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽，所述除水器的进口为有机废气入口，所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收层连通，所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置连接，所述回收槽的底部与排出管连接，所述排出管上安装阀门。

进一步，所述乙醇吸收装置的出液口与蒸馏塔连接。

更进一步，所述回收槽的下部设有引流管，所述引流管的上端与所述吸收液喷洒层连通，所述引流管内安装循环泵。

本发明的有益效果主要表现在：能有效的净化stripper有机废气，并且可以实现溶剂循环利用，同时节约能耗，达到低碳环保的功能。

附图说明

图1是乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。

参照图1，一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置，包括除水器1、乙醇蒸发器2、回收塔和乙醇吸收装置8，所述回收塔自上而下依次设置除雾层5、吸收液喷洒层3、吸收层4和回收槽6，所述除水器1的进口为有机废气入口，所述除水器1的出口、乙醇蒸发器2的出口均与所述吸收层4连通，所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置8连接，所述回收槽6的底部与排出管连接，所述排出管上安装阀门9。

进一步，所述乙醇吸收装置8的出液口与蒸馏塔连接。

更进一步，所述回收槽6的下部设有引流管，所述引流管的上端与所述吸收液喷洒层3连通，所述引流管内安装循环泵7。

本实施例中，各个组成部分的功能如下：

（1）除水器,除去蒸汽中的水汽；

（2）乙醇蒸发器：其提供乙醇气体，以促使有机废气中乙醇气体达到饱和或过饱和状态；

（3）吸收液喷洒器，其提供吸收液，以冷却该有机废气和乙醇混合气体;

（4）吸收层，其用以使乙醇蒸汽、吸收液与有机废气充分传质，过饱和乙醇蒸汽凝结成核促进了对有机废气的冷凝吸收作用,吸收液可以选择乙醇等溶剂；

（5）除雾层，其用以除雾以回收有机溶剂;

（6）回收槽，用以回收以上所冷凝的有机溶剂;

（7）循环泵，用以将回收槽中的液体输送到吸收液喷洒器;

（8）乙醇吸收装置，经冷凝处理后的气体通入盛有硅油/水的装置将尾气中的乙醇气体进行吸收，其中装置中的水用于吸收乙醇，而硅油由于与水、乙醇不溶而且质轻因此分布在上层，起到液封的作用，进一步降低乙醇气体的挥发。

如上述装置，可进一步包含蒸馏塔，用于分离乙醇和stripper有机废气，将乙醇重新输入乙醇蒸发器和吸收器中，stripper配方溶剂按stripper配方添加所需成分实现循环利用。