[发明专利]用于制造多晶硅锭的坩埚

权利要求书

1.一种用于制造多晶硅锭的坩埚，其特征在于，包括坩埚本体（10），所述坩埚本体（10）的与硅料接触的底部凹凸不平。

2.根据权利要求1所述的用于制造多晶硅锭的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体（10）的所述底部包括多个与所述坩埚本体（10）一体成型的多个凸点（11）。

3.根据权利要求2所述的用于制造多晶硅锭的坩埚，其特征在于，多个所述凸点（11）均匀布置在所述坩埚本体（10）的所述底部。

4.根据权利要求1所述的用于制造多晶硅锭的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体（10）的所述底部呈锯齿状结构。

5.根据权利要求1所述的用于制造多晶硅锭的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体（10）的所述底部设置有多个框体，多个所述框体使所述底部凹凸不平。

6.根据权利要求5所述的用于制造多晶硅锭的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体（10）的所述底部呈正方形结构，所述框体为方框（12），多个所述方框（12）与所述正方形结构具有相同的中心，且多个所述方框（12）的边长从内向外均匀增长。

7.根据权利要求1所述的用于制造多晶硅锭的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体（10）的所述底部设置有多根相交的隔挡条（13），多根相交的所述隔挡条（13）使所述底部凹凸不平。

8.根据权利要求7所述的用于制造多晶硅锭的坩埚，其特征在于，多根所述隔挡条（13）形成多个方格。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的用于制造多晶硅锭的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体（10）的内侧壁凹凸不平。