[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其为有机EL膜成膜用的蒸镀装置，并具备：

配置有真空机器人的机器人搬送室；

隔着闸阀与该机器人搬送室连接的1个或2个蒸镀室；

能够放置多张基板且水平收放在所述蒸镀室内的分度工作台；

使该分度工作台在水平方向上旋转的旋转机构；以及

位于所述分度工作台的下方且与所述多张基板中的一张基板对置，能够在水平方向上移动地配置的蒸镀源，

该蒸镀装置的特征在于，

所述真空机器人能够在所述蒸镀室与所述机器人搬送室之间在水平方向上搬入、搬出基板，在使用所述蒸镀源对放置在所述分度工作台上的多张基板中的一张基板进行蒸镀时，使用所述真空机器人将另一张基板从所述蒸镀室搬出到所述机器人搬送室，取而代之将新的基板从所述机器人搬送室搬入所述蒸镀室。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转机构利用磁性流体密封机构，将配置在所述蒸镀室外的马达的旋转驱动力传递给收放在所述蒸镀室内的所述分度工作台。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

在放置于所述分度工作台的基板的蒸镀面的相反面侧配置具有工件抬起部的压板，

所述蒸镀装置具备：

缸体，其配置在所述蒸镀室的外部；

波纹管，其连接于该缸体的一端；

升降轴，其通过连接在该波纹管的内侧的浮动接头与所述波纹管连接且配置在所述蒸镀室内；以及

插口部，其设于该升降轴的下端部且能够嵌入所述工件抬起部。

4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

在放置于所述分度工作台的基板的蒸镀面的相反侧配置具有工件抬起部的压板，

所述蒸镀装置具备：

缸体，其配置在所述蒸镀室的外部；

波纹管，其连接于该缸体的一端；

升降轴，其通过连接在该波纹管的内侧的浮动接头与所述波纹管连接且配置在所述蒸镀室内；以及

插口部，其设于该升降轴的下端部且能够嵌入所述工件抬起部。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述分度工作台能够放置2个基板，并形成有：在远离所述机器人搬送室的一侧实施利用所述蒸镀源的蒸镀的蒸镀位置；以及在靠近所述机器人搬送室的一侧利用所述真空机器人搬入、搬出基板的交接位置。

6.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述分度工作台能够放置2个基板，并形成有：在远离所述机器人搬送室的一侧实施利用所述蒸镀源的蒸镀的蒸镀位置；以及在靠近所述机器人搬送室的一侧利用所述真空机器人搬入、搬出基板的交接位置。

7.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述分度工作台能够放置2个基板，并形成有：在远离所述机器人搬送室的一侧实施利用所述蒸镀源的蒸镀的蒸镀位置；以及在靠近所述机器人搬送室的一侧利用所述真空机器人搬入、搬出基板的交接位置。

8.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述分度工作台能够放置2个基板，并形成有：在远离所述机器人搬送室的一侧实施利用所述蒸镀源的蒸镀的蒸镀位置；以及在靠近所述机器人搬送室的一侧利用所述真空机器人搬入、搬出基板的交接位置。

9.一种蒸镀方法，其是利用配置在机器人搬送室内的真空机器人，对配置在附设于所述机器人搬送室的蒸镀室内的多张基板进行蒸镀以及搬入、搬出的有机EL膜成膜基板的蒸镀方法，

该蒸镀方法的特征在于，

使用所述真空机器人将多张基板放置到水平配置的分度工作台上，针对多张基板中的1张基板，使位于该基板下方且与基板相对配置的蒸镀源移动来进行蒸镀，在其蒸镀中，利用所述真空机器人将另一张基板搬出到所述机器人搬送室，并且将新的基板搬入到所述蒸镀室并放置到所述分度工作台上，当所述蒸镀中的基板的蒸镀结束后，在水平方向上旋转所述分度工作台而将未蒸镀的基板定位于所述蒸镀源的位置，此后重复上述步骤。

10.根据权利要求9所述的蒸镀方法，其特征在于，

在将所述基板搬入所述蒸镀室时或者将所述基板搬出到所述机器人搬送室时，将配置在与所述基板的蒸镀面的相反面侧上的工件抬起部，嵌入到通过波纹管与配置在所述蒸镀室外的缸体连接的升降轴的前端的插口部中，从而将所述基板从所述分度工作台抬起或将所述基板下放到所述分度工作台上。