[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

说明书

技术领域

本发明涉及蒸镀装置及蒸镀方法，尤其涉及适宜有机EL膜的蒸镀的蒸镀装置及蒸镀方法。

背景技术

专利文献1、2中记载了现有的有机EL膜成膜用蒸镀装置的例子。在这些公报中，为了提供材料损失小、经济性好的有机EL器件制造装置，在真空腔内能够配置2张以上的基板。并且，在使用从蒸镀源蒸镀的蒸镀材料蒸镀第一张基板时，将其他基板搬入真空腔内，在使用蒸镀材料蒸镀第二张基板时，从真空腔搬出第一张基板。或者，在蒸镀第一张基板时，结束其他基板的位置对准，在使用与第一张基板的蒸镀中所使用的同一蒸镀源对第二张基板进行蒸镀时，从真空腔搬出第一张基板。在专利文献2中，进而在搬送中将基板的蒸镀面作为上侧进行搬送。

专利文献1：日本特开2010-86956号公报

专利文献2：日本特开2010-62043号公报

发明内容

在作为制造有机EL器件的有利方法的真空蒸镀法中，为了持续稳定的蒸镀，需要进行控制以使得从蒸镀源保持一定的材料蒸镀速度。为此，使用电阻加热或感应加热等方法加热蒸镀材料进行物理蒸镀（PVC），但是为了使蒸镀速度稳定需要一定的时间，不容易实现从蒸镀源的材料蒸镀恰似开关ON/OFF那样的控制。另外，为了保持一定的材料蒸镀速度，需要一直进行蒸镀，因此在不需要蒸镀的基板的搬出搬入工序和定位工序中也会进行蒸镀，在这些工序中，从蒸镀源蒸镀的材料不会对蒸镀工序产生任何贡献，其结果造成了材料损失。

因此，在上述专利文献1、专利文献2中，在真空腔内以垂直地直立基板的状态进行蒸镀的垂直蒸镀方式中，在真空腔内能够收放多个基板，在对一方的基板进行蒸镀时，搬入、搬出另一方的基板中的任意一个或定位另一方的基板中的任意一个。但是，即使在该专利文献1、2所记载的方法中，在结束了一方的基板的蒸镀后对搬入的另一方的基板进行蒸镀时，也要将蒸镀源从一方的基板的位置移动到另一方的基板的位置，因此，在移动期间需要用挡板等遮蔽蒸镀源以防止向基板或基板外进行蒸镀，并且向挡板等进行无意义地蒸镀。

可是，由于有机EL材料昂贵，因此要寻求尽量避免无意义的使用。上述专利文献1、2与以往相比，虽然飞跃性地降低了蒸镀物的无意义的使用，但是尽管如此也仍要寻求降低关系到产品价格的上升的有机EL材料的损失。此外，当损失材料变多时，还会出现材料的更换频度变高、减少装置的运转时间这样的缺陷。

并且，该专利文献1、2中所记载的方案是将基板垂直放置来进行蒸镀的方案，未考虑将基板保持为水平状态从基板的下表面进行蒸镀的、水平蒸镀的情况。

本发明是鉴于上述现有技术的缺陷而完成的，其目的在于，在水平蒸镀型的有机EL膜成膜用蒸镀装置中，极力降低蒸镀源的无意义的蒸镀时间。本发明的另一目的在于，在上述目的的基础上，提高蒸镀源的有效运转率、减少材料损失、降低有机EL器件的制造成本。

达成上述目的的本发明的特征在于，有机EL膜成膜用的蒸镀装置具备：配置有真空机器人的机器人搬送室；隔着闸阀与该机器人搬送室连接的1个或2个蒸镀室；能够放置多张基板且水平收放在所述蒸镀室内的分度工作台；使该分度工作台在水平方向上旋转的旋转单元；以及位于所述分度工作台的下方且与所述多张基板中的一张基板对置，能够在水平方向上移动地配置的蒸镀源，所述真空机器人能够在所述蒸镀室与所述机器人搬送室之间在水平方向上搬入、搬出基板，在使用所述蒸镀源对放置在所述分度工作台上的多张基板中的一张基板进行蒸镀时，利用所述真空机器人将另一张基板从所述蒸镀室搬出到所述机器人搬送室，取而代之将新的基板从所述机器人搬送室搬入所述蒸镀室。

并且，在该特征中，优选所述旋转机构利用磁性流体密封机构将配置在所述蒸镀室外的马达的旋转驱动力传递给收放在所述蒸镀室内的所述分度工作台，也可以在放置于所述分度工作台的基板的蒸镀面的相反面侧配置具有工件抬起部的压板，并且具备：缸体，其配置在所述蒸镀室的外部；波纹管，其连接于该缸体的一端；升降轴，其通过连接在该波纹管的内侧的浮动接头与所述波纹管连接其配置在所述蒸镀室内；以及插口部，其设于该升降轴的下端部且能够嵌入上述工件抬起部。

另外，优选所述分度工作台能够放置2个基板并形成有：在远离所述机器人搬送室的一侧实施利用所述蒸镀源的蒸镀的蒸镀位置；以及在靠近所述机器人搬送室的一侧利用所述真空机器人搬入、搬出基板的交接位置。