[发明专利]热对流式线性加速仪

权利要求书

1.一种热对流式线性加速仪，包含：

一底材；以及

一第一感测计，包含：

两第一温度感测元件，设置在该底材上；及

一第一加热器，设置在该底材上，并位于该两第一温度感测元件之间，其中该两第一温度感测元件中至少一者距该底材的高度，大于该第一加热器距该底材的高度。

2.如权利要求1所述的热对流式线性加速仪，其中该两第一温度感测元件中，至少一者距该底材的该高度是介于0.5至2毫米。

3.如权利要求1所述的热对流式线性加速仪，其中该底材具一表面，而该第一加热器及该两第一温度感测元件均整个位在该表面。

4.如权利要求1所述的热对流式线性加速仪，还包含一第二感测计，该第二感测计包含：

两第二温度感测元件，设置在该底材上；以及

一第二加热器，设置在该底材上，并位在该两第二温度感测元件之间，其中该两第二温度感测元件距该底材的高度，大于该第二加热器距该底材的高度；

其中该第一感测计与该第二感测计，测量不同方向上的线性加速度。

5.如权利要求4所述的热对流式线性加速仪，其中该两第二温度感测元件距该底材的该高度，是介于0.5至2毫米。

6.如权利要求5所述的热对流式线性加速仪，其中该第二加热器及该两第二温度感测元件，均整个位在该表面。

7.如权利要求6所述的热对流式线性加速仪，还包含一第三感测计，该第三感测计包含：

两第三温度感测元件；以及

一第三加热器，位于该两第三温度感测元件之间，其中该两第三温度感测元件和该第三加热器在垂直于该底材的一方向上排列。

8.如权利要求7所述的热对流式线性加速仪，还包含一另一底材，其中该两第三温度感测元件及该第三加热器设置于该另一底材上，且该两第三温度感测元件距该另一底材的高度，大于该第三加热器距该另一底材的高度。

9.如权利要求8所述的热对流式线性加速仪，还包含多个支撑件，其中各该支撑件设置于该第一温度感测元件和该底材、该第二温度感测元件和该底材或该第三温度感测元件和该另一底材之间，其中各该支撑件的厚度是介于0.5至2毫米之间。

10.如权利要求9所述的热对流式线性加速仪，其中各该支撑件包含氮化铝。

11.如权利要求10所述的热对流式线性加速仪，还包含一连接器，其中该连接器设置在该底材上，而该另一底材插置在该连接器。

12.如权利要求11所述的热对流式线性加速仪，其中该第一加热器、该第二加热器和该第三加热器中的每一者，包含重量比12%至19%的铬和重量比81%至88%的镍。

13.如权利要求12所述的热对流式线性加速仪，还包含一无线射频识别标签，其中该无线射频识别标签连接该第一感测计、该第二感测计及该第三感测计。

14.如权利要求13所述的热对流式线性加速仪，其中所述第一温度感测元件、所述第二温度感测元件及所述第三温度感测元件，包含P型掺杂非晶硅。

15.如权利要求13所述的热对流式线性加速仪，其中所述第一温度感测元件、所述第二温度感测元件及所述第三温度感测元件，包含E、K、T或J型热电堆。

16.如权利要求1所述的热对流式线性加速仪，其中该两第一温度感测元件中至少一者距该底材的高度，大于该第一加热器的厚度。