[发明专利]热对流式线性加速仪

说明书

技术领域

本发明涉及一种热对流式线性加速仪。

背景技术

美国专利公告号第6,182,509号公开一种热对流型线性加速仪(Thermal Convection Accelerometer)。该热对流型加速仪包含一绝热基板、一加热器和两个温度感测元件。绝热基板具一凹槽，加热器与两个温度感测元件悬置于凹槽上，且两个温度感测元件分别等距置放于加热器的相对两侧。

为形成悬置的加热器与两个温度感测元件，首先在绝热基板上形成二氧化硅层。然后，在二氧化硅层上形成一多晶硅层。之后，进行氧化工艺，在多晶硅层上形成另一氧化层。接着，图案化该多晶硅层，以获得3条多晶硅桥梁(Polysilicon Bridge)。然后，再次进行氧化工艺，以在多晶硅桥梁的侧边形成氧化层。之后，绝热基板以EDP(乙二胺(Ethylenediamine)、儿茶酚(Pyrocatechol)和水的混合物)蚀刻出深凹槽。

在前述的热对流型线性加速仪中，电流通过加热器，以产生向外扩展的对称温度梯度。当前述的热对流型线性加速仪承受加速度时，两温度感测元件会因感测到不同的温度，而表现出不同的电阻值。通过测量电阻值的差异，可推算出线性加速度。

然而现有的热对流型线性加速仪反应速度慢，仍不够灵敏。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种对流式线性加速仪。

本发明一实施例的热对流式线性加速仪包含一底材及一第一感测计。第一感测计包含两第一温度感测元件及一第一加热器。两第一温度感测元件设置在该底材上。第一加热器设置在该底材上。第一加热器并位于两第一温度感测元件之间。两第一温度感测元件中至少一者距该底材的高度，大于第一加热器距该底材的高度。

在一实施例中，两第一温度感测元件具有相同的高度。

在一实施例中，两第一温度感测元件中至少一者距该底材的高度是介于0.5至2毫米。

在一实施例中，第一加热器及两第一温度感测元件，均整个位在该底材的一表面上。

本发明的有益效果在于，由于温度感测元件及加热器的高度不同，温度感测元件在热对流式线性加速仪承受线性加速度时，可较敏锐地感测到其附近温度的变化。

附图说明

图1为本发明一实施例的热对流式线性加速度测量系统的示意图。

图2A为本发明一实施例的感测计的示意图。

图2B为沿图2A的剖面线2-2的剖视图。

图3为本发明另一实施例的感测计的示意图。

图4A为本发明另一实施例的热对流式线性加速仪的示意图。

图4B为沿图4A的剖面线4-4的剖视图。

图5A为本发明一实施例的热对流式线性加速仪的无线射频识别标签的示意图。

图5B为沿图5A的剖面线5-5的剖视图。

图6例示本发明另一实施例的热对流式线性加速仪的感测计。

图7为本发明另一实施例的热对流式线性加速仪的示意图。

图8为本发明一实施例的热对流式线性加速仪的电路图。

其中，附图标记说明如下：

1  热对流式线性加速度测量系统

11  读取设备

12  热对流式线性加速仪

12' 热对流式线性加速仪

12'' 热对流式线性加速仪

12''' 热对流式线性加速仪

13  X轴线性加速度感测计

14  Y轴线性加速度感测计

15  Z轴线性加速度感测计

16  无线射频识别标签

20、20a、20b  感测计

21  底材

21' 底材

22、22' 盖体

23  胶

24  金属线

51  晶片

60  底材

61  连接器

62  电阻

63  电容

64  电池

81、82  串联接点

111  发送器/接收器

112  天线

113  监控设备

161  调制器

162  整流器

163  微处理器

164  天线

201  加热器

202  温度感测元件

203  支撑温度感测的元件

210  基材