[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于，包括：

旋转体，具有旋转侧排气功能部及旋转轴；

固定侧排气功能部；

润滑滚珠轴承，支撑所述旋转轴；

电动机，旋转驱动所述旋转体；及

第一迷宫式密封件，设置于配置着所述电动机的电动机定子的空间与配置着所述润滑滚珠轴承的空间之间。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于其还包括：

轴承座，保持所述润滑滚珠轴承；及

平衡调整用构件，安装于所述旋转轴的与所述轴承座相对向的位置，且用于所述旋转体的平衡调整；且

构成所述第一迷宫式密封件的其中一凹凸形成于所述平衡调整用构件的与所述轴承座相对向的面，而与所述其中一凹凸嵌合的另一凹凸形成于所述轴承座的与所述平衡调整用构件相对向的面。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于其还包括：

净化气体流路，用以对配置着所述电动机定子的空间导入净化气体。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于其还包括：

第二迷宫式密封件，设置于配置着所述电动机定子的空间与泵排气口之间。

5.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于其还包括：

储油件，密接配置于所述电动机定子，且设置着用于所述润滑滚珠轴承的润滑脂或者所述润滑脂的基础油。

6.根据权利要求4或5所述的真空泵，其特征在于还包括：

净化气体流路，用以对所述第二迷宫式密封件的密封件间隙导入净化气体。