[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过润滑滚珠轴承(ball bearing)来支撑转子的构成的真空泵(vacuum pump)。

背景技术

于在支撑转子的轴承中使用滚珠轴承的真空泵中，滚珠轴承的润滑会成为问题。在专利文献1所记载的干式真空泵(dry vacuum pump)中，在配置着电动机(motor)及滚珠轴承的空间与泵排气口侧之间设置着迷宫式密封件(labyrinth seal)。通过设为此种构成，而防止油蒸气向吸气口侧逆流。

另外，专利文献2所记载的发明是一种利用球面螺旋槽轴承(spherical spiral groove bearing)支撑旋转体的下部的构成的真空泵，对旋转轴设置唇形密封板(lip seal plate)，以防止油及油蒸气漏出至油收纳容器的外部。

背景技术文献

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2002-317790号公报

[专利文献2]日本专利特开昭62-288386号公报

然而，在专利文献1所记载的构成的情况下，油蒸气会扩散至电动机及轴承的配置空间整体。因此，如果有泵排气口侧的压力变动，那么会产生气体经由迷宫式密封件向所述配置空间流入或者气体自配置空间流出，配置空间的油蒸气也会随着该气体的流出而流出。其结果，用于轴承的润滑剂的油(在润滑脂(grease)润滑的情况下为基础油(base oil))减少，而导致润滑剂寿命的恶化。

另外，在专利文献2所记载的使用唇形密封板的情况下，为了使唇形密封板也能承受住高速旋转，必须在唇形密封板与旋转轴接触的部分形成润滑油的油膜。因此，该构造并不适用于润滑脂润滑的滚珠轴承。

发明内容

本发明的优选实施方式的真空泵包括：旋转体，具有旋转侧排气功能部及旋转轴；固定侧排气功能部；润滑滚珠轴承，支撑所述旋转轴；电动机，旋转驱动所述旋转体；及第一迷宫式密封件，设置于配置着所述电动机的电动机定子(motor stator)的空间与配置着所述润滑滚珠轴承的空间之间。

优选在配置着所述电动机定子的空间与配置着所述润滑滚珠轴承的空间之间，除第一迷宫式密封件以外无其他供气体流动的通路。

优选所述真空泵还包括：轴承座(bearing holder)，保持所述润滑滚珠轴承；及平衡(balance)调整用构件，安装于所述旋转轴的与所述轴承座相对向的位置，且用于所述旋转体的平衡调整；且构成所述第一迷宫式密封件的其中一凹凸形成于所述平衡调整用构件的与所述轴承座相对向的面，与所述其中一凹凸嵌合的另一凹凸形成于所述轴承座的与所述平衡调整用构件相对向的面。

优选所述真空泵还包括：净化气体(purge gas)流路，用以对配置着所述电动机定子的空间导入净化气体。

优选所述真空泵还包括：第二迷宫式密封件，设置于配置着所述电动机定子的空间与泵排气口之间。

优选所述真空泵还包括：储油件，密接配置于所述电动机定子，且设置着用于所述润滑滚珠轴承的润滑脂或者该润滑脂的基础油。

优选所述真空泵还包括：净化气体流路，用以对所述第二迷宫式密封件的密封件间隙导入净化气体。

[发明的效果]

根据本发明，可实现润滑滚珠轴承的高寿命化。

附图说明

图1是表示本发明的真空泵的第一实施方式的图。

图2是说明迷宫式密封件18的构造的图。

图3是表示本发明的真空泵的第二实施方式的图。

图4是表示本发明的真空泵的第三实施方式的图。

图5是表示轴向式(axial type)迷宫式密封件18的图。

[符号的说明]

1：涡轮分子泵          2：基座

2a：电动机外壳部       3：泵转子

4：电动机

4a：电动机转子         4b：电动机定子

4c：配线

6：永久磁铁磁轴承

6a、6b：永久磁铁

8、9：轴承             10a、10b：轴部

11：磁铁座            14：轴承座

14a、17a：凹部        14b、16a、17b：凸部

15：螺母              16：下盖

17：平衡调整用构件    18、19：迷宫式密封件

20：固定翼            21a、21b：定子