[发明专利]放电灯、连接用线缆、光源装置及曝光装置

权利要求书

1.一种放电灯，其在玻璃构件的内部收纳有用于放电的电极，其特征在于，

所述放电灯具备：

连结于所述玻璃构件的灯头构件；

设于所述灯头构件并由导电性材料形成的中继构件；

具有与所述中继构件电连接的导电性构件的连结构件；

设于所述中继构件和所述连结构件，并且用于向所述灯头构件供应冷却介质的流路。

2.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于，

所述导电性构件为圆筒状，

在所述导电性构件的内部形成所述流路的一部分。

3.根据权利要求2所述的放电灯，其特征在于，

所述灯头构件连结于所述玻璃构件的第一方向侧，

所述连结构件被以所述圆筒状的导电性构件沿与所述第一方向交叉的方向配置的形式安装于所述中继构件。

4.根据权利要求3所述的放电灯，其特征在于，

所述中继构件具有所述冷却介质的从与所述第一方向交叉的方向朝向所述第一方向的流路。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的放电灯，其特征在于，

所述放电灯具备线缆，所述线缆配置于所述连结构件与所述中继构件之间，并且能够针对所述电极供应电力和所述冷却介质。

6.根据权利要求5所述的放电灯，其特征在于，

所述线缆具有：

由柔性材料制成并且具有所述流路的一部分的管状构件；

由具有导电性的柔性材料制成并且将所述管状构件覆盖的覆盖构件。

7.根据权利要求6所述的放电灯，其特征在于，

所述覆盖构件是将多条导线以网眼状编成的构件。

8.根据权利要求6或7所述的放电灯，其特征在于，

所述覆盖构件将一端固定于所述中继构件，并且将另一端固定于所述导电性构件。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的放电灯，其特征在于，

所述中继构件具有将所述灯头构件的至少一部分覆盖的圆筒部，

所述流路在所述圆筒部与所述灯头构件之间连通。

10.根据权利要求9所述的放电灯，其特征在于，

所述冷却介质是已被冷却的气体，

经由所述圆筒部与所述灯头构件之间向所述玻璃构件侧供应所述已被冷却的气体。

11.根据权利要求1至10中任意一项所述的放电灯，其特征在于，

在所述中继构件所具有的所述圆筒部与所述灯头构件之间，以螺旋状形成所述流路的至少一部分。

12.根据权利要求11所述的放电灯，其特征在于，

在所述灯头构件的表面形成所述螺旋状的槽部。

13.根据权利要求12所述的放电灯，其特征在于，

在所述灯头构件的前端部设置突部，

所述螺旋状的槽部连通到设于所述突部侧面的缺口部。

14.一种连接用线缆，其用于将使用冷却介质及电力的装置与所述冷却介质的供应源及电源连结，其特征在于，

所述连接用线缆具备：

管状构件，其由柔性材料形成，并且具有所述冷却介质的流路；

覆盖构件，其由具有导电性的柔性材料形成，并且设置成覆盖所述管状构件。

15.根据权利要求14所述的连接用线缆，其特征在于，

所述覆盖构件是将多条导线以网眼状编成的构件。

16.根据权利要求14或15所述的连接用线缆，其特征在于，

所述连接用线缆还具备第一端子构件，所述第一端子构件既连结于所述管状构件的一端，又连结于所述覆盖构件的一端，

所述连接用线缆经由所述第一端子构件而与所述使用冷却介质及电力的装置连接。

17.根据权利要求16所述的连接用线缆，其特征在于，

所述连接用线缆还具备第二端子构件，所述第二端子构件既连结于所述管状构件的另一端，又连结于所述覆盖构件的另一端，

所述连接用线缆经由所述第二端子构件而与所述冷却介质的供应源及所述电源连接。