[发明专利]放电灯、连接用线缆、光源装置及曝光装置

说明书

本发明专利申请是针对国际申请日为2008年04月03日、国际申请号为PCT/JP2008/056719、进入中国国家阶段的中国专利申请号为200880000911.7、发明名称为“放电灯、连接用线缆、光源装置及曝光装置”的申请提出的分案申请。

技术领域

本发明涉及放电灯、连接放电灯与电源之时使用的连接用线缆、具备放电灯的光源装置以及具备该光源装置的曝光装置。

背景技术

在用于制造各种设备（微型设备、电子设备等）的光刻工序中，为了将形成于母版（或光掩模等）上的图案向涂布有抗蚀剂的晶片（或玻璃平板等）上转印，使用步进机等一次性曝光型（静止曝光型）的投影曝光装置以及扫描步进装置等扫描曝光型的投影曝光装置等曝光装置。在这些曝光装置中，使用将水银灯等放电灯与聚光镜组合而成的曝光用的光源装置，其放电灯被经由给定的安装机构保持。

在具有放电灯的以往光源装置当中，存在一种为了减轻发热的影响而设置有冷却机构的类型。以往的冷却机构的一个例子是下述机构，即：从放电灯的一方的灯头的外面经由灯泡部的外面向另一方的灯头的外面供应已被冷却的空气的机构（例如参照专利文献1）。作为以往的冷却机构的其他的例子，还已知有下述的机构，即：在放电灯的灯头上设置环状的槽部，经由该槽部及给定的送风管向灯泡部供应已被冷却的空气（例如参照专利文献2）。

专利文献1：日本特开平9－213129号公报

专利文献2：日本特开平11－283898号公报

以往的光源装置的放电灯的冷却机构，因为主要向放电灯的灯泡部吹送冷风，所以存在对灯头的冷却作用小的问题。

另外，放电灯中具有固定侧的灯头和自由端侧的灯头，在使用以往的冷却机构对自由端侧的灯头冷却时，需要在灯头的周围也设置送风用的配管，因而会有来自放电灯的光被遮挡这样的问题。

发明内容

本发明鉴于此种情况，其目的在于提供一种光源装置，其对放电灯的灯头的冷却作用大，并且在将自由端侧的灯头冷却之时对从放电灯中产生的光的遮光量少。

另外，本发明的目的还在于，提供能够应用于此种光源装置中的放电灯及连接用线缆以及使用此种光源装置的曝光技术。

本发明的放电灯是在玻璃构件的内部收纳有用于放电的电极的放电灯，并且具备：连结于该玻璃构件的灯头构件；设于该灯头构件而由导电性材料形成的中继构件；具有与该中继构件电连接的导电性构件的连结构件；设于该中继构件及该连结构件而用于向该灯头构件供应冷却介质的流路。

另外，本发明的连接用线缆是用于将使用冷却介质及电力的装置与该冷却介质的供应源及电源连结的连接用线缆，并且具备：管状构件，其由柔性材料形成，并且具有该冷却介质的流路；覆盖构件，其由具有导电性的柔性材料形成，并且设置成覆盖该管状构件。

另外，本发明的光源装置是与电源和冷却介质的供应源连接的光源装置，并且具有本发明的放电灯；用于将该电源及该供应源与该放电灯连接的本发明的连接用线缆。

另外，本发明的曝光装置是利用从光源装置中产生的曝光光在感光基板上将图案曝光的曝光装置，该光源装置使用本发明的光源装置。

根据本发明的放电灯，用于放电的电力经由连结构件的导电性构件、中继构件及灯头构件向用于放电的电极供应。另外，冷却介质经由连结构件及设于中继构件中的流路向灯头构件供应。

根据本发明的连接用线缆，来自电源的电力经由具有柔性的覆盖构件向装置侧供应，来自供应源的冷却介质穿过设于该覆盖构件内的具有柔性的管状构件的内部向装置侧供应。

因此，根据本发明的光源装置及曝光装置，来自电源的电力经由连接用线缆的覆盖构件、放电灯的连结构件、中继构件及灯头构件向用于放电的电极供应。另外，来自供应源的冷却介质在穿过连接用线缆的管状构件后，穿过放电灯的连结构件及中继构件内的流路向灯头构件供应。因此，对该灯头构件的冷却作用大。另外，冷却介质穿过连接用线缆的电力供应用的具有柔性的覆盖构件内的具有柔性的管状构件向放电灯侧供应。因此，在该灯头构件处于自由端侧的情况下，由该连接用线缆造成的对从放电灯中产生的光的遮光量少，光的利用效率高，并且光源装置的温度上升也很少。

附图说明

图1是表示实施方式的一例的投影曝光装置的概略构成的图。

图2（A）是将表示图1中的放电灯1的一部分切开的图，图2（B）是沿着图2（A）的BB线的剖面图。