[发明专利]一种硫代钒酸盐发光薄膜及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种硫代钒酸盐发光薄膜，其特征在于，结构式为Me₃(VS₄)₂:xCu²⁺,yIr³⁺，其中Me为Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值范围为0.01～0.08，y的取值范围为0.01～0.1。

2.如权利要求1所述的硫代钒酸盐发光薄膜，其特征在于，x的取值为0.05，y的取值为0.06。

3.权利要求1所述的硫代钒酸盐发光薄膜，其特征在于，所述发光薄膜的厚度为45～350nm。

4.一种硫代钒酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

以摩尔比为3:2:x:y的双环戊二烯碱土盐、氧化二乙酰丙酮合硫代钒、乙酰丙酮铜、乙酰丙酮铱为反应源；

在真空度为1.0×10^-2～1.0×10^-3Pa的气相沉积设备中，将衬底转速设置为50～1000转/分，通入含有反应源的惰性气体，气流量为5～15sccm，再通入硫化氢，在所述衬底上沉积得到所述硫代钒酸盐发光薄膜；

所述硫代钒酸盐发光薄膜的结构式为Me₃(VS₄)₂:xCu²⁺,yIr³⁺，其中Me为Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值范围为0.01～0.08，y的取值范围为0.01～0.1。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，x的取值为0.05，y的取值为0.06。

6.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述双环戊二烯碱土盐为双环戊二烯镁、双环戊二烯钙、双环戊二烯锶或双环戊二烯钡。

7.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述硫化氢的气流量为10～200sccm。

8.一种薄膜电致发光器件，包括衬底、发光层和阴极，其特征在于，所述发光层的材质为硫代钒酸盐发光薄膜，所述硫代钒酸盐发光薄膜的结构式为Me₃(VS₄)₂:xCu²⁺,yIr³⁺，其中Me为Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值范围为0.01～0.08，y的取值范围为0.01～0.1。

9.如权利要求8所述的薄膜电致发光器件，其特征在于，x的取值为0.05，y的取值为0.06。

10.一种薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供清洁的衬底；

以摩尔比为3:2:x:y的双环戊二烯碱土盐、氧化二乙酰丙酮合硫代钒、乙酰丙酮铜、乙酰丙酮铱为反应源；

在真空度为1.0×10^-2～1.0×10^-3Pa的气相沉积设备中，将衬底转速设置为50～1000转/分，通入含有反应源的惰性气体，气流量为5～15sccm，再通入硫化氢，在所述衬底上沉积得到所述硫代钒酸盐发光薄膜，所述硫代钒酸盐发光薄膜的结构式为Me₃(VS₄)₂:xCu²⁺,yIr³⁺，其中Me为Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值范围为0.01～0.08，y的取值范围为0.01～0.1；

继续通入硫化氢，待冷却后在所述发光薄膜上蒸镀阴极；

以上步骤完成后，得到所述薄膜电致发光器件。