[发明专利]一种金属掩膜板集成装配检测中心

权利要求书

1.一种金属掩膜板集成装配检测中心，包括激光焊接装置、激光切割装置、绷网组件、精度测量装置、下垂量测量装置、机台、运动导轨，其特征在于，所述绷网组件固定安装在所述机台上，所述运动导轨包括Y轴导轨和X轴导轨以及Z轴导轨，所述Y轴导轨固定安装在所述机台上，所述X轴导轨安装在所述Y轴导轨上，可在所述Y轴导轨上进行Y轴方向的运动，所述Z轴导轨安装在所述X轴导轨上，所述Z轴导轨可以在X轴导轨上进行运动，所述激光焊接装置、激光切割装置、精度测量装置、下垂量测量装置固定直接或间接安装在所述Z轴导轨上，既可随Z轴导轨在X轴导轨、Y轴导轨上进行X、Y轴向的运动，也可以在Z轴导轨上做Z轴方向的运动。

2.根据权利要求1所述的金属掩膜板集成装配检测中心，其特征在于，所述金属掩膜板集成装配检测中心还包括横梁，所述横梁安装在Y轴导轨上，而X轴导轨安装在所述横梁上，使X轴导轨间接安装在Y轴导轨上。

3.根据权利要求1所述的金属掩膜板集成装配检测中心，其特征在于，所述金属掩膜板集成装配检测中心还包括X/Z轴平板，所述Z轴导轨安装在所述X/Z轴平板上，所述X/Z轴平板安装在所述X轴导轨上，使Z轴导轨间接安装在X轴导轨上。

4.根据权利要求1所述的金属掩膜板集成装配检测中心，其特征在于，所述金属掩膜板集成装配检测中心还包括Y轴导轨支撑，所述Y轴导轨支撑直接安装在所述机台上，所述Y轴导轨安装在所述Y轴导轨支撑上。

5.根据权利要求1所述的金属掩膜板集成装配检测中心，其特征在于，所述机台包括花岗石平台和基座，所述花岗石平台安装在所述基座上，所述基座直接与支撑基地接触。

6.根据权利要求1所述的金属掩膜板集成装配检测中心，其特征在于，所述激光焊接装置包括激光焊接头。

7.根据权利要求1所述的金属掩膜板集成装配检测中心，其特征在于，所述激光切割装置包括激光切割头。

8.根据权利要求1所述的金属掩膜板集成装配检测中心，其特征在于，所述精度测量装置包括机器视觉组件。

9.根据权利要求1所述的金属掩膜板集成装配检测中心，其特征在于，所述下垂量测量装置包括激光位移传感器。