[发明专利]一种金属掩膜板集成装配检测中心

说明书

技术领域

本发明属于大平面显示行业，涉及OLED显示屏产业，尤其涉及一种OLED Metal Mask制作装备。 

  

背景技术

OLED是下一代的显示技术，与目前使用的LCD显示技术相比，具有可视角大，色彩艳丽，功耗低等优点，会逐渐替代目前主流的液晶显示技术。OLED显示屏制作过程中，有一道有机发光体蒸镀工艺，需要用到高精度的OLED Metal Mask作为蒸镀模板，OLED Metal Mask的质量对显示屏的质量、成品率有极大影响，在OLED显示屏行业，OLED Metal Mask是制约OLED屏发展的关键因素。 

OLED Metal Mask典型的结构包含2个部分：一部分是金属框、另一部分是带有精密图形的金属片材。金属框提供结构支撑，金属片材上的精密图形为蒸镀图形转印的基准。 

传统的OLED Metal Mask采用化学蚀刻的方法，在金属片材上制作精密的图形，再采用专用的张网机把片材张紧绷平，采用焊接机把张紧绷平的片材焊接到金属框上。 

传统的OLED Metal Mask生产工艺路线如图一所示，其中： 

图形转印：采用高精度的光学曝光设备，把数字化的图形设计文件精密地转印到材料上，这一步是第一步，也是图形精度的来源。这一步包含了若干设备，如光刻设备、贴膜设备等。其中，光刻设备非常昂贵，如半导体的光刻机属于这一类设备。

蚀刻/电铸：这是一道电化学生产工艺，经过图形转印后的材料，经过电化学工艺后，生成带有精密图形的金属片材。这一道工艺设备有电化学蚀刻线或者电化学电铸线，工艺参数众多，要保证图形精度非常困难。 

绷网：对上道工艺完成的带有精密图形的金属片材进行展平，通常采用四边或两边绷拉的方式。由于片材厚度很薄，在受力的时候，会出现拉伸变形，因此会对图形的精度造成影响，此道工艺内要保证图形精度是非常困难的。并且由于OLED屏幕越做越大，OLED Metal Mask的幅面也越做越大，绷网工艺要在大幅面内保证图形精度，也越来越困难。 

焊接：此道工艺把绷网展平的精密金属片材焊接到金属框上，以金属框的刚性来保持片材的形状精度不发生变化。 

检验：成品的检验，包含开口位置精度、尺寸精度以及片材的下垂量。 

包装出货：经过检验的成品，包装出货。 

显而易见，目前工艺方式存在以下2个问题： 

1.工艺链过长

2.工艺链中，每一道工艺都对产品的精度有直接影响，且变量众多，要想获得良好的产品质量，必须在每一道工艺中进行非常精细的控制，并且对所使用的工艺设备也有很高的要求。整个工艺链难度过大。

  

发明内容

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本发明提供了一种金属掩膜板集成装配检测中心，包括激光焊接装置、激光切割装置、绷网组件、精度测量装置、下垂量测量装置、机台、运动导轨，其特征在于，所述绷网组件固定安装在所述机台上，所述运动导轨包括Y轴导轨和X轴导轨以及Z轴导轨，所述Y轴导轨固定安装在所述机台上，所述X轴导轨安装在所述Y轴导轨上，可在所述Y轴导轨上进行Y轴方向的运动，所述Z轴导轨安装在所述X轴导轨上，所述Z轴导轨可以在X轴导轨上进行运动，所述激光焊接装置、激光切割装置、精度测量装置、下垂量测量装置固定直接或间接安装在所述Z轴导轨上，既可随Z轴导轨在X轴导轨、Y轴导轨上进行X、Y轴向的运动，也可以在Z轴导轨上做Z轴方向的运动。 

根据本专利背景技术中所述，目前采用的工艺技术具有工艺链过长，工艺链中，每一道工艺都对产品的精度有直接影响，且变量众多，要想获得良好的产品质量，必须在每一道工艺中进行非常精细的控制，并且对所使用的工艺设备也有很高的要求，整个工艺链难度过大；因此有必要对工艺过程进行必要的改进和简化，本发明提供的金属掩膜板集成装配检测中心可以一次定位，极大缩短了原有工艺链，降低了工艺难度，提高了成品率，降低了OLED Metal Mask的生产成本，缩短交货期，新型的高精度金属掩膜板集成装配检测中心可实现在一台设备上实现新工艺路线，效率更高，更便捷，节约能源，减少污染。 

本发明提供的高精度金属掩膜板集成装配检测中心，具有5种核心功能：激光焊接、激光切割、自动绷网、精度测量、下垂量测量， 

采用该设备，可以采用新的工艺路线进行OLED Metal Mask的生产，如图2所示。

绷网/焊接/切割/精度测量/下垂量测量：此道工艺的过程如下：