[发明专利]一种用于光刻胶瓶的导管有效
| 申请号： | 201310354757.6 | 申请日： | 2013-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN103400785A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 徐纯;林晓瑜;刘开来 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 导管 | ||
1.一种用于光刻胶瓶的导管，其特征在于，所述导管包括：
主导管装置，所述主导管装置进一步包括一体成型的卡扣端和导管端，所述卡扣端上间隔设置环形凹槽，所述导管端之紧邻所述卡扣端一侧设置光阻管路接口，所述导管端之异于所述光阻管路接口一侧设置光阻入口；
护管装置，所述护管装置进一步包括独立设置并可通过螺旋方式连接的卡扣端护管和导管端护管，所述卡扣端护管包括柱状壳体以及分别设置在所述柱状壳体两侧的卡扣装置和光阻管路容置空间，所述卡扣装置与所述主导管装置之卡扣端对应设置。
2.如权利要求1所述的用于光刻胶瓶的导管，其特征在于，所述卡扣装置与所述主导管装置之卡扣端对应设置，并在使用过程中，所述卡扣装置卡扣在所述卡扣端之环形凹槽内。
3.如权利要求2所述的用于光刻胶瓶的导管，其特征在于，所述卡扣装置包括具有滑槽的承载部，以及套设在所述承载部上的卡爪部，所述卡爪部并可沿所述滑槽方向移动。
4.如权利要求2所述的用于光刻胶瓶的导管，其特征在于，所述主导管装置之卡扣端呈实体结构，所述主导管装置之导管端呈中空结构。
5.如权利要求2所述的用于光刻胶瓶的导管，其特征在于，所述卡扣端护管和所述导管端护管通过螺旋方式连接时，在所述卡扣端护管和所述导管端护管之间设置密封圈。
6.如权利要求5所述的用于光刻胶瓶的导管，其特征在于，所述密封圈的内径与所述导管端的外径相当，所述密封圈的外径与所述导管端护管的内径相当。
7.如权利要求2所述的用于光刻胶瓶的导管，其特征在于，所述主导管装置之卡扣端间隔设置的环形凹槽数量为两个。
8.如权利要求2所述的用于光刻胶瓶的导管，其特征在于，所述主导管装置之导管端呈平头设计。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
