[发明专利]PECVD柔性太阳能电池制造设备

权利要求书

1.一种PECVD柔性太阳能电池制造设备，所述设备包括至少一个真空室，每个真空室内设有至少一个电极室，其特征在于，所述电极室从内向外依次包括内管、中管和外管，所述内管、中管和外管两端通过端盖进行固定，且内管和中管间的距离处处相等，所述内管和中管分别作为内电极和外电极与射频发生器相连。

2.根据权利要求1所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述内管、中管和外管为同心设置的圆柱体，所述外管和中管紧贴设置。

3.根据权利要求1所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述外管上均匀分布有加热装置。

4.根据权利要求3所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述加热装置为螺旋式电加热管、或若干圆形电加热管、或若干直线型电加热管。

5.根据权利要求4所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述外管上设有用于收容电加热管的螺旋式收容槽、或圆形收容槽、或直线型收容槽。

6.根据权利要求1所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述至少一端盖上设有用于通入气体至内管内部的进气口，所述内管上设有若干用于将气体从内管内部通入至内管与中管之间的通孔，所述至少一端盖上设有用于排放内管与中管之间气体的排气口。

7.根据权利要求6所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述进气口设于对应于内管内部的端盖上，排气口设于对应于内管与中管之间的端盖上。

8.根据权利要求6所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述中管内壁用于收容直径与中管内壁相等的柔性衬底，所述柔性衬底的包括不锈钢柔性衬底。

9.根据权利要求6所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述内管外壁用于收容直径与内管外壁相等的半柔性衬底，所述半柔性衬底包括聚酰亚胺高分子膜。

10.根据权利要求6所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述气体包括反应气体和吹扫气体。