[发明专利]PECVD柔性太阳能电池制造设备

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池镀膜设备技术领域，特别是涉及一种PECVD柔性太阳能电池制造设备。

背景技术

目前，世界上广泛制造的太阳能电池组件都是采用硅片或玻璃为基材，不可弯曲的刚性结构，重量重，体积大，不耐冲击，从而不适合移动应用。目前世界上只有少数几家公司掌握以不锈钢箔（Stainless Steel）或聚酰亚胺（Kepton）等高分子膜为基材制造太阳能电池组件，产品具备柔性或半柔性，可弯曲，重量轻，体积小，耐冲击等优异性能，适合移动应用。

现有技术中采用“卷对卷“的样品输送技术进行半导体真空镀膜，需要先后经过不同的真空室进行分层镀膜，代表性的镀膜工艺为PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体辅助化学气相沉积）镀膜，代表性的薄膜太阳能器件为薄膜非晶硅（a-Si）与微晶硅（uc-Si）太阳能电池，代表性的基材为不锈钢箔材（Stainless Steel Foil）或聚酰亚胺（Kepton）等高分子膜。由于卷对卷的基材输送机构，基材要在牵引张力状态下经过多个真空镀膜室，这种张力决定了箔材不能过薄。以不锈钢基材为例，典型厚度为0.125毫米，而且设备非常复杂与庞大，从而设备造价高，产品柔性不好，属于半柔性，典型的弯曲半径约为200毫米，产品的单位面积重量也较高。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种新的PECVD柔性太阳能电池制造设备。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种结构简单、设备成本低的PECVD柔性太阳能电池制造设备。

为了实现上述目的，本发明实施例提供的技术方案如下：

一种PECVD柔性太阳能电池制造设备，所述设备包括至少一个真空室，每个真空室内设有至少一个电极室，所述电极室从内向外依次包括内管、中管和外管，所述内管、中管和外管两端通过端盖进行固定，且内管和中管间的距离处处相等，所述内管和中管分别作为内电极和外电极与射频发生器相连。

作为本发明的进一步改进，所述内管、中管和外管为同心设置的圆柱体，所述外管和中管紧贴设置。

作为本发明的进一步改进，所述外管上均匀分布有加热装置。

作为本发明的进一步改进，所述加热装置为螺旋式电加热管、或若干圆形电加热管、或若干直线型电加热管。

作为本发明的进一步改进，所述外管上设有用于收容电加热管的螺旋式收容槽、或圆形收容槽、或直线型收容槽。

作为本发明的进一步改进，所述至少一端盖上设有用于通入气体至内管内部的进气口，所述内管上设有若干用于将气体从内管内部通入至内管与中管之间的通孔，所述至少一端盖上设有用于排放内管与中管之间气体的排气口。

作为本发明的进一步改进，所述进气口设于对应于内管内部的端盖上，排气口设于对应于内管与中管之间的端盖上。

作为本发明的进一步改进，所述中管内壁用于收容直径与中管内壁相等的柔性衬底，所述柔性衬底的包括不锈钢柔性衬底。

作为本发明的进一步改进，所述内管外壁用于收容直径与内管外壁相等的半柔性衬底，所述半柔性衬底包括聚酰亚胺高分子膜。

作为本发明的进一步改进，所述气体包括反应气体和吹扫气体。

本发明具有以下有益效果：

反应气体与吹扫气体经过内管或中管表面分布的通孔与电极表面垂直喷淋，可以获得均匀的气流与气体组分分布；

箔材本身的内张力（中管内壁）或外张力（内管外壁）与高弹性箔材或低弹性箔材巧妙结合，实现箔材与电极表面的自动精准配合，保证了成膜质量；

同一真空室内可安装多套电极室，实现高产能；

每个电极室自成一个内真空室，实现反应区域的高度洁净，进一步保证了成膜质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一优选实施方式中PECVD柔性太阳能电池制造设备中内管、中管和外管的截面结构示意图；

图2为本发明一优选实施方式中PECVD柔性太阳能电池制造设备的原理图；

图3为本发明另一实施方式中PECVD柔性太阳能电池制造设备的原理图。

具体实施方式