[发明专利]显示面板用玻璃板、其制造方法及TFT面板的制造方法

权利要求书

1.一种显示面板用玻璃板，其特征在于，以氧化物基准的质量％表示，作为玻璃主要组成，包含：

热收缩率(C)在20ppm以下，50～350℃的平均热膨胀系数在83×10^-7/℃以下。

2.一种显示面板用玻璃板的制造方法，该方法是将熔化原料而得的熔融玻璃用浮法成形炉成形为带状的玻璃板后，通过冷却装置进行冷却，得到处于室温状态的权利要求1所述的显示面板用玻璃板的显示面板用玻璃板的制造方法，其特征在于，

将从所述浮法成形炉引出的玻璃板的表面温度设为T_H(℃)，将室温设为T_L(℃)，将所述玻璃板的表面温度在所述冷却装置的冷却下从T_H到达T_L所需的时间设为t(分钟)时，所述冷却装置是使以(T_H-T_L)/t表示的平均冷却速度为10～300℃/分钟的冷却装置。

3.一种TFT面板的制造方法，该方法是包括在显示面板用玻璃板的表面形成阵列基板栅极绝缘膜的成膜工序和将所述阵列基板和彩色滤光片基板粘合的粘合工序的TFT面板的制造方法，其特征在于，

所述成膜工序是以下的工序：将权利要求1所述的显示面板用玻璃板的表面的成膜区域升温至150～300℃的范围内的成膜温度后，在所述成膜温度下保持5～60分钟，在所述成膜区域形成所述栅极绝缘膜。