[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有：卡盘台，其保持被加工物；激光光线照射构件，其对该卡盘台所保持的被加工物照射激光光线；以及加工进给构件，其对该卡盘台和该激光光线照射构件相对地进行加工进给，该激光加工装置的特征在于，

该激光光线照射构件具有：激光光线振荡器，其振荡出激光光线；输出调整构件，其调整该激光光线振荡器振荡出的激光光线的输出；聚光器，其使由该输出调整构件调整后的激光光线会聚，对该卡盘台所保持的被加工物照射激光光线；1/2波长板，其配设在该输出调整构件与该聚光器之间；偏振角调整构件，其调整通过该1/2波长板的激光光线的偏振角；以及控制构件，其控制该偏振角调整构件，

该聚光器具有双折射透镜和聚光物镜，

该控制构件控制该偏振角调整构件，调整通过该1/2波长板的激光光线的偏振角，将经由该双折射透镜并由该聚光物镜会聚的激光光线的聚光点适当变更为两个的方式和一个的方式。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该控制构件对该输出调整构件进行控制，使得以第一方式控制该偏振角调整构件时的进入到双折射透镜的激光光线的输出成为以第二方式控制该偏振角调整构件时的激光光线的输出的1/2，其中，该第一方式为使经由该双折射透镜并由该聚光物镜会聚的激光光线的聚光点成为一个的方式，该第二方式为使经由该双折射透镜并由该聚光物镜会聚的激光光线的聚光点成为两个的方式。