[发明专利]制造有机发光设备的方法在审
申请号: | 201310361686.2 | 申请日: | 2013-08-19 |
公开(公告)号: | CN103915576A | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 崔贤珠;李昌浩;吴一洙;高熙周;申大烨;崔柄河;李昌敃;李寅宰;田坪恩;赵世珍;尹振瑛;李宝罗;金范俊;李衍祐;沈芝慧;沈重元 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 于未茗;康泉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 有机 发光 设备 方法 | ||
1.一种制造有机发光设备的方法,所述方法包括:
在基板上形成第一电极层;
使用CF4等离子体对所述第一电极层进行表面处理;
在经表面处理的第一电极层上形成含并五苯的第一公共层;
在所述第一公共层上形成有机发光层;
在所述有机发光层上形成第二公共层;以及
在所述第二公共层上形成第二电极层。
2.如权利要求1所述方法,其中形成所述第一公共层包括在所述经表面处理的第一电极层上堆叠空穴注入层。
3.如权利要求2所述方法,其中形成所述第一公共层进一步包括在所述空穴注入层上堆叠空穴传输层。
4.如权利要求2所述方法,其中形成所述第二公共层进一步包括在所述有机发光层上堆叠电子注入层。
5.如权利要求2所述方法,其中形成所述第二公共层进一步包括:
在所述有机发光层上堆叠电子传输层;以及
在所述电子传输层上堆叠电子注入层。
6.如权利要求5所述方法,进一步包括在所述电子传输层和所述有机发光层之间形成空穴阻挡层以阻挡空穴从所述有机发光层向所述电子传输层的移动。
7.如权利要求1所述方法,其中所述第二公共层包含4,7-二苯基-1,10-邻菲咯啉。
8.如权利要求1所述方法,其中所述第一电极层包含铟锡氧化物。
9.一种制造有机发光设备的方法,所述方法包括:
在基板上形成含铟锡氧化物的第一电极层;
使用CF4等离子体对所述第一电极层进行表面处理;
在经表面处理的第一电极层上形成含并五苯的第一公共层;
在所述第一公共层上形成有机发光层;
在所述有机发光层上形成空穴阻挡层;
在所述空穴阻挡层上形成第二公共层;以及
在所述第二公共层上形成第二电极层。
10.如权利要求9所述方法,其中所述第二公共层包括顺序堆叠的电子传输层和电子注入层。
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