[发明专利]图案形成装置以及图案形成方法在审
| 申请号： | 201310361890.4 | 申请日： | 2013-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN103628103A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 博伊科·斯托伊梅诺夫;山川和芳;铃木雅裕;松尾和昭 | 申请（专利权）人： | 株式会社捷太格特 |
| 主分类号： | C25D5/02 | 分类号： | C25D5/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;苏琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图案 形成 装置 以及 方法 | ||
1.一种图案形成装置，利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并通过这些皮膜来获得规定的皮膜图案，
所述图案形成装置的特征在于，具备：
多个罐，它们具有与形成不同种类的皮膜的所述多个区域各自的轮廓形状为相同形状的开口端，并在使该开口端抵接于所述表面的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液；和
电源装置，其向作为第一电极的所述工件与所述多个罐内的各个第二电极之间施加规定电压。
2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，
所述电源装置同时向所述第一电极与所述多个罐内的各个所述第二电极之间施加电压。
3.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，
还具备密封部，所述密封部防止所述罐内的电沉积液在使该罐的开口端抵接于所述工件的表面的状态下从该工件的表面与该开口端之间泄漏。
4.根据权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于，
还具备密封部，所述密封部防止所述罐内的电沉积液在使该罐的开口端抵接于所述工件的表面的状态下从该工件的表面与该开口端之间泄漏。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的图案形成装置，其特征在于，
所述多个罐的内壁面的至少一部分为所述第二电极。
6.一种图案形成方法，利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并通过些皮膜来获得规定的皮膜图案，
所述图案形成方法的特征在于，包括：
使多个罐抵接于所述工件的表面中形成不同种类的皮膜的多个区域的步骤，所述多个罐具有与这些多个区域各自的轮廓形状为相同形状的开口端；和
在这些罐中分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液，并向作为第一电极的所述工件与所述多个罐内的各个第二电极之间施加电压。
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