[发明专利]图案形成装置以及图案形成方法

说明书

技术领域

本申请引用2012年8月22日提交的日本专利申请2012-183261所公开的说明书、权利要求书、附图和摘要的全部内容。

本发明涉及利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并利用这些皮膜在工件的表面获得规定皮膜图案的图案形成装置以及图案形成方法。

背景技术

例如，为了减小金属制工件表面的摩擦阻力，有时在其表面形成树脂皮膜。作为用于形成这样的皮膜的方法公知一种电沉积。即，如图7所示，通过在蓄有包含树脂成分的电沉积液（电解液）90的水槽91内配置工件92和对置电极93，并通过向它们施加直流电压，能够使包含在电沉积液90中的树脂成分附着于工件92的表面，形成树脂皮膜。此外，作为利用电沉积在工件的表面形成皮膜的装置，例如已知特开2000－256895号公报（参照图1）所记载的装置。

另外，如图8所示，在利用电沉积在工件95的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并利用这些皮膜形成规定的皮膜图案的情况下，如下所述，以往使用掩模。此外，在图8中，板状的工件95的表面被划分为9个区域A1～A9。在区域A2、A4、A6以及A8形成第一皮膜。在区域A1和A9形成有与第一皮膜种类不同的第二皮膜。在区域A3和A7形成有与第一皮膜和第二皮膜种类不同的第三皮膜。在区域A5形成有与第一、第二以及第三皮膜种类不同的第四皮膜。

在形成这样的皮膜图案时，首先，将工件和对置电极配置在蓄有用于形成第一皮膜的电沉积液的水槽内。此外，如图9（A）所示，该工件的表面被覆盖格子状的掩模M1。然后，通过对工件和对置电极施加直流电压，从而在未覆盖掩模M1的区域A2、A4、A6以及A8形成第一皮膜（参照图9（B））。接下来，将形成有第一皮膜的工件和对置电极配置在蓄有用于形成第二皮膜的电沉积液的水槽内。其中，如图9（C）所示，覆盖在该工件的表面的掩模被替换为其它掩模M2。由此，在未覆盖掩模M2的区域A1和A9形成第二皮膜（参照图9（D））。

以下，同样地，将交换为掩模M3（参照图9（E））的工件配置在蓄有用于形成第三皮膜的电沉积液的水槽内，在区域A3和A7形成第三皮膜（图9（F））。

另外，将被覆盖掩模M4（参照图9（G）参照）的工件配置在蓄有用于形成第四皮膜的电沉积液的水槽内，在区域A5形成第四皮膜（图9（H））。

如上所述，为了利用电沉积在工件的表面的多个区域A1～A9形成不同种类的皮膜，并通过这些皮膜获得规定的皮膜图案，需要反复地将工件配置在电沉积液种类不同的水槽内进行多次电沉积的处理。而且，存在需要按每一处理更换覆盖工件的掩模，故以往的方法存在消耗大量的工序数，产品成本增加这样的问题。

发明内容

本发明目的在于提供在利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并通过这些皮膜获得规定的皮膜图案的情况下，能够减少工序数的图案形成装置以及能够减少工序数的图案形成方法。

利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，通过这些皮膜获得规定的皮膜图案的本发明一实施方式的图案形成装置在构成上的特征在于，具备：多个罐，它们具有与形成有不同种类的皮膜的上述多个区域各自的轮廓形状相同形状的开口端，并在使该开口端抵接于上述表面的状态下，分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液；电源装置，其向作为第一电极的上述工件与上述多个罐内的各个第二电极之间施加规定电压。

附图说明

结合最佳实施例的详细描述和附图，本发明前述和其他的特点和优点得以进一步明确。相同部件赋予相同附图标记。

图1是表示本发明的图案形成装置的概略结构的立体图。

图2是表示使罐与工件分离的状态的图。

图3是将罐上下颠倒，并使抵接部朝上表示的说明图。

图4是从主视面观察罐的截面的说明图。

图5是通过图案形成装置获得规定的皮膜图案的工件的表面的说明图。

图6是表示其他实施方式的图案形成装置的概略结构的立体图。

图7是对以往的装置进行说明的说明图。

图8是工件的表面的说明图。

图9是对以往的图案形成方法进行说明的说明图。

具体实施方式