[发明专利]可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置

权利要求书

1.一种可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，其特征在于：包括套筒组件[26]、连接件[14]和俯仰倾斜二维调整架[25]，连接件[14]为中空圆柱体，两端内径相等，外径不同，在外径较小的一端通过螺纹固定在套筒组件[26]的侧壁上，另一端通过螺纹与俯仰倾斜二维调整架[25]连接。

2.根据权利要求1所述的可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，其特征在于：套筒组件[26]包括套筒[6]、第一压圈[7]、分光镜[8]，套筒[6]两端外径均不同，外径小的一端带有外螺纹，通过外螺纹与显微镜物镜转换器连接，外径大的一端带有内螺纹，通过内螺纹与显微物镜连接，在外径小的一端设有第一深孔[2]，在第一深孔[2]下方设置横截面为正方形的正方形深孔[3]，在正方形深孔[3]下方设置第二深孔[4]，第二深孔[4]下方设置第三深孔[5]，第三深孔[5]带有内螺纹与显微物镜连接，套筒[6]侧壁设置第四深孔[9]，通过第四深孔[9]与连接件[14]连接，在第四深孔[9]另一端设置纵截面为正方形的第五深孔[10]，第五深孔[10]另一端与正方形深孔[3]连通，第一压圈[7]通过螺纹将分光镜[8]固定在套筒[6]的正方形深孔[3]中，第五深孔[10] 的中心轴与第四深孔[9]的中心轴重合且经过分光镜[8]的几何中心。

3.根据权利要求1或2所述的可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，其特征在于：分光镜[8]为边长为a₀的正方体，显微物镜的长度为l₀，工作距为l_d，通光孔径为D₀，套筒[6]外径小的一端外径的半径为r₀，高度为d₀，第一深孔[2]半径为r₁，深度为d₁，2 r₁> a₀，正方形深孔[3]横截面的边长为a₁，深度为d₂，d₂< a₁=a₀，第二深孔[4]半径为r₃，深度为d₃，D₀<2r₃=a₁，第三深孔[5]半径为r₄，深度为d₄，r₀= r₄，第一深孔[2]、正方形深孔[3]、第二深孔[4]和第三深孔[5]的几何中心同轴，第四深孔[9]半径为r₅，深度为d₅，第五深孔[10]的纵截面边长为a₂，深度为d₆，D₀< a₂<2r₅，第一压圈[7]的内圈半径为r₇，厚度为d₇, r₇> a₀，d₇< d₁。

4.根据权利要求1或3所述的可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，其特征在于：连接件[14]的内径为r₁₁，2r₁₁> D₀。

5.根据权利要求1所述的可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，其特征在于：俯仰倾斜二维调整架[25]，包括第一调节件[24]、第二调节件[17]、拉簧[18]、固定球[1]、微调螺纹副[23]、参考镜[22]和第二压圈[21]，第一调节件[24]沿光路方向设置通孔，通孔两端内径不同，内壁设有螺纹，第二压圈[21] 通过螺纹将参考镜[22]固定在通孔内径较小的一侧；在第一调节件[24]较大内径的面上沿对角线布置两个微调螺纹副[23]，两个微调螺纹副[23]穿过第一调节件[24]设置在第二调节件[17]的对角线上，第一调节件[24]和第二调节件[17]之间的另一条对角线上设置固定球[1]，通过固定球[1]固定，在固定球[1]和微调螺纹副[23]之间分别对称设置两个拉簧[18]。