[发明专利]可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置

说明书

技术领域

本发明属于干涉测量领域，具体涉及一种可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，用于将低放大倍率显微物镜改装的干涉显微物镜。

背景技术

干涉显微镜主要有Michelson（迈克尔逊）、Mirau（米洛）和Linnik三种类型。Michelson型干涉显微镜利用分光镜将入射光束分成两束，一束入射到被测件，另一束入射到参考镜，调节参考镜位置，使参考镜和被测件反射回的光束的光程差为零，光束发生干涉后产生干涉条纹，从而可以分析被测件的微观特性。

迈克尔逊型干涉显微镜是目前结构较为简单、使用较多的一种通过对低倍显微物镜改装的干涉显微物镜类型。迈克尔逊型干涉显微镜在光程拉长的情况下也可以进行测量，而其设计也较为容易。Sagamihara-shi等人的专利号为US 2012/0099115 A1的专利中提出了一种米洛型干涉显微物镜是将参考镜和分光镜固定在一个套筒中，该方法一定程度上简化了干涉显微物镜的结构，但其缺点是参考镜和分光镜之间距离是固定的，只能使用在一种工作距离长度的显微物镜上，两镜之间的距离以及平行精度也只能由加工精度决定，而且不适用于光程较长的情况。谢勇军等人在《利用Linnik显微干涉技术测量微结构动态特性》中提到的迈克尔逊干涉显微结构是将分光镜置于显微物镜下方，这样就需要使用工作距离较长的显微物镜，限制了装置的使用范围。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，本装置可便捷地将普通显微物镜改造成干涉显微物镜，可方便安装卸载参考镜和分光镜，并且能够微调参考镜和分光镜之间距离使其能够适用于不同工作距离的显微物镜的改造。

实现本发明目的的技术解决方案为：一种可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，包括套筒组件、连接件和俯仰倾斜二维调整架，连接件为中空圆柱体，两端内径相等，外径不同，在外径较小的一端通过螺纹固定在套筒组件的侧壁上，另一端通过螺纹与俯仰倾斜二维调整架连接。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明可便捷地将普通显微物镜改造迈克尔逊型干涉显微物镜，实现精密元件的表面形貌测量；参考镜和分光镜可以独立装配拆卸，参考镜可进行俯仰倾斜的调节；装置体积小，便于保存携带，且能满足高精度的使用要求，分光镜和参考镜之间距离可调，可用于不同工作距离的显微物镜改装，且适用于光程较长的情况下。

附图说明

图1为本发明的整体装置示意图。

图2为本发明的整体装置剖面示意图。

图3为本发明的套筒组件结构剖面示意图。

图4为本发明的套筒结构剖面示意图。

图5为本发明的连接件剖面示意图。

图6为本发明的第一调节件剖面示意图。

具体实施方式  

下面结合附图对本发明作进一步详细描述。

一种可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，包括套筒组件26、连接件14和俯仰倾斜二维调整架25，连接件14为中空圆柱体，两端内径相等，外径不同，在外径较小的一端通过螺纹固定在套筒组件26的侧壁上，另一端通过螺纹与俯仰倾斜二维调整架25连接。

套筒组件26包括套筒6、第一压圈7、分光镜8，套筒6两端外径均不同，外径小的一端带有外螺纹，通过外螺纹与显微镜物镜转换器连接，外径大的一端带有内螺纹，通过内螺纹与显微物镜连接，在外径小的一端设有第一深孔2，在第一深孔2下方设置横截面为正方形的正方形深孔3，在正方形深孔3下方设置第二深孔4，第二深孔4下方设置第三深孔5，第三深孔5带有内螺纹与显微物镜连接，套筒6侧壁设置第四深孔9，通过第四深孔9与连接件14连接，在第四深孔9另一端设置纵截面为正方形的第五深孔10，第五深孔10另一端与正方形深孔3连通，第一压圈7通过螺纹将分光镜8固定在套筒6的正方形深孔3中，第五深孔10的中心轴与第四深孔9的中心轴重合且经过分光镜8的几何中心。