[发明专利]单晶炉双加热器组合电极结构

权利要求书

1.单晶炉双加热器组合电极结构，其特征在于：包括与底部加热器电连接的第一外部电极（11）、与主加热器电连接的第二外部电极（12）以及位于第一外部电极（11）与第二外部电极之间（12）的绝缘件，所述第一外部电极（11）和所述第二外部电极（12）共用一个冷却通道（123）。

2.如权利要求1所述的单晶炉双加热器组合电极结构，其特征在于：所述第一外部电极（11）与所述第二外部电极（12）均为筒状且套装，所述冷却通道（123）开设于位于内层的外部电极。

3.如权利要求2所述的单晶炉双加热器组合电极结构，其特征在于：所述第二外部电极（12）位于内层，所述第一外部电极（11）内为台阶状，所述第二外部电极（12）外设有凸缘（121），所述第二外部电极（12）通过所述凸缘（121）卡挂于所述第一外部电极（11）的台阶上。

4.根据权利要求1所述的单晶炉双加热器电极组合，其特征在于，所述第二外部电极（12）位于内层，所述第二外部电极（12）包括相连接的第一本体（120）和第二本体（122），所述冷却通道（123）贯穿第二本体（122）并延伸至所述第一本体内（120），所述冷却通道（123）位于第一本体（120）内的端部与所述第一外部电极（11）远离第二本体（122）的端部平齐。

5.根据权利要求1所述的单晶炉双加热器电极组合，其特征在于，所述第二外部电极（12）位于内层，所述第二外部电极（12）包括相连接的第一本体（120）和第二本体（122），所述冷却通道（123）贯穿第二本体（122）并延伸至所述第一本体（120）内，所述冷却通道（123）位于第一本体（120）内的端部高于所述第一外部电极（11）远离第二本体（122）的端部。