[发明专利]单晶炉双加热器组合电极结构

说明书

技术领域

本发明属于单晶制造设备技术领域，涉及一种单晶炉双加热器组合电极结构。 

背景技术

随着全球各国经济发展对能源需求的日益增加，许多发达国家越来越重视对可再生能源、环保能源以及新型能源的开发与研究。作为一种清洁、高效和永不衰竭的新能源，在新世纪中，各国政府都将太阳能的利用作为国家可持续发展战略的重要内容。在太阳能行业中，光伏组件50%以上的成本消耗于单晶硅棒及硅片的生产，因此降低生产成本是整个行业的主题。单晶生长过程中，设置在坩埚上的加热器一般采用铜电极供电，并对铜电极进行冷却以避免过多的热量经由铜电极传导至炉外烧坏相关部件。为满足人们对晶体良率及品质的需求，人们在坩埚下增设底部加热器，增设的底部加热器与坩埚上的主加热器构成双加热器系统，以产生优化的温度梯度。由于增设的底部加热器又引入一对铜电极，因此，双加热器系统的热损耗增加，导致生产成本增加。 

发明内容

本发明的目的是提供一种单晶炉双加热器组合电极结构，解决现有技术由于热损耗大带来的生产成本高的问题。 

本发明的技术方案是，单晶炉双加热器组合电极结构，包括与底部加热 器电连接的第一外部电极、与主加热器电连接的第二外部电极以及位于第一外部电极与第二外部电极之间的绝缘件，第一外部电极和第二外部电极共用一个冷却通道。 

本发明的特点还在于： 

第一外部电极与第二外部电极均为筒状且套装，冷却通道开设于位于内层的外部电极。 

作为本发明的一种优选方法，第二外部电极位于内层，第一外部电极内为台阶状，第二外部电极外设有凸缘，第二外部电极通过凸缘卡挂于第一外部电极的台阶上。 

作为本发明的另一种优选方法，第二外部电极位于内层，第二外部电极包括相连接的第一本体和第二本体，冷却通道贯穿第二本体并延伸至第一本体内，冷却通道位于第一本体内的端部与第一外部电极远离第二本体的端部平齐。 

作为本发明的又一种优选方法，第二外部电极位于内层，第二外部电极包括相连接的第一本体和第二本体，冷却通道贯穿第二本体并延伸至第一本体内，冷却通道位于第一本体内的端部高于第一外部电极远离第二本体的端部。 

本发明具有如下有益效果： 

1、本发明将第一外部电极与第二外部电极集成于一体，两个电极共用一个冷却通道，可大幅度降低热量损耗。 

2、本发明结构简单、紧凑，不仅节约空间，且使用方便。 

附图说明

图1为本发明单晶炉双加热器组合电极结构示意图。 

图中，10.单晶炉双加热器组合电极结构，11.第一外部电极，12.第二外部电极，13.绝缘件，110.第一主体，111.第二主体，112.收容孔，113.第一收容段，114.第二收容段，115.第一侧面，116.底面，117.第二侧面，120.第一本体，121.凸缘，122.第二本体，123.冷却通道，13.绝缘件，130.上沿，131.第一侧壁，132.底壁，133.第二侧壁。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。 

参见图1，单晶炉双加热器组合电极结构10，包括第一外部电极11、第二外部电极12以及绝缘件13。第一外部电极11与底部加热器电连接。第二外部电极12与主加热器电连接。 

第一外部电极11可为铜电极，大致为筒状。第一外部电极11包括相连接的第一主体110和第二主体111。第一主体110的外径大于第二主体111的外径。第一外部电极11具有贯穿第一主体110和第二主体111的收容孔112。收容孔112为台阶孔，包括相连通的第一收容段113和第二收容段114。第一收容段113的孔径大于第二收容段114的孔径。第一收容段113开设于第一主体110。第二收容段114贯穿第二主体111以及部分第一主体110。收容孔112的第一收容段113包括相连的第一侧面115和底面116。第二收容段114具有第二侧面117。第二侧面117连接于底面116。