[发明专利]多晶硅冷氢化洗涤系统

权利要求书

1.一种多晶硅冷氢化洗涤系统，其包括用于接收进料的文丘里洗涤器、洗涤塔、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连的分离罐、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连并将洗涤液从洗涤塔抽入文丘里洗涤器中的文丘里循环泵、与洗涤塔并将洗涤塔内的气体冷凝的冷凝器及将冷凝器中液体抽入洗涤塔中淋洗物料的洗涤液循环泵，其特征在于：还包括连接洗涤液循环泵及文丘里洗涤器的安全管路。

2.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于，该安全管路一端连接在洗涤液循环泵与洗涤塔之间的管道上，另外一端连接在文丘里循环泵与文丘里洗涤器之间的管道上。

3.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于，该安全管道上设置有开闭该安全管道的保障阀。

4.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于，还包括设置连接文丘里循环泵和洗涤塔的管道上的过滤器。

5.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于，该洗涤液循环泵为双泵结构。

6.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于，该冷凝器和洗涤液循环泵之间设置有用于暂存冷凝器冷凝出的液体的中间冷凝液槽。

7.根据权利要求3所述的多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于，还包括设置在洗涤塔上的压力感应装置及与该压力感应装置相连并与洗涤塔超压时报警的分散控制系统。

8.根据权利要求7所述的多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于，该分散控制系统监控文丘里循环泵并控制保障阀在文丘里循环泵停止工作时开启保障阀。

9.根据权利要求8所述的多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于，该分散控制系统监控洗涤液循环泵并于洗涤液循环泵停止工作时报警。