[发明专利]多晶硅冷氢化洗涤系统

说明书

技术领域

    本发明涉及一种洗涤系统，具体涉及一种多晶硅冷氢化洗涤系统。

背景技术

    目前的多晶硅冷氢化洗涤系统由文丘里循环泵提供动力对物料在文丘里洗涤器内做第一次清洗，由洗涤液循环泵提供动力对物料在洗涤塔内进行第二次洗涤，但是，由于硅粉固体颗粒的存在，文丘里循环泵容易发生故障导致循环中断，洗涤塔内压力不断升高，甚至导致爆塔事故，安全隐患极大。

发明内容

   针对上述所存在的问题，本发明的目的是提供一种更为安全可靠的多晶硅冷氢化洗涤系统。

   为达到上述技术效果，本发明所采取的技术方案是：一种多晶硅冷氢化洗涤系统，其包括用于接收进料的文丘里洗涤器、洗涤塔、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连的分离罐、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连并将洗涤液从洗涤塔抽入文丘里洗涤器中的文丘里循环泵、与洗涤塔并将洗涤塔内的气体冷凝的冷凝器及将冷凝器中液体抽入洗涤塔中淋洗物料的洗涤液循环泵。多晶硅冷氢化洗涤系统还包括连接洗涤液循环泵及文丘里洗涤器的安全管路。

   上述多晶硅冷氢化洗涤系统，若文丘里循环泵发生故障不工作，导致洗涤塔内压力不断升高，安全管路开通，洗涤液循环泵抽取的一部分洗涤液可以直接进入文丘里洗涤器，经分离罐到洗涤塔内洗涤循环，保持洗涤塔内的压力稳定，防止爆塔。

附图说明

   图1是本发明多晶硅冷氢化洗涤系统的原理示意图。

具体实施方式

   下面将结合附图对本发明作进一步说明。

   如图1所示，本发明的多晶硅冷氢化洗涤系统包括文丘里洗涤器21、分离罐22、洗涤塔23、冷凝器24、中间凝液槽25、文丘里循环泵26、洗涤液循环泵27及过滤器28。其中，文丘里洗涤器21一端用于进料并进行第一次洗涤，即接收待清洗的物料并在文丘里洗涤器21内进行第一次清洗，该物料为经过多晶硅氢化系统后的物料，为携带有硅粉颗粒的气态的氯硅烷、氢气等，另一端与分离罐22相连，用于将物料输出到分离罐22内，并且在分离罐22内实现气液分离。分离罐22上下两端均与洗涤塔23相连，分离后的气液分别在分离罐22上下两端通过管道进入到洗涤塔23中，在洗涤塔23中进行喷淋洗涤。洗涤塔23上端与冷凝器24相连，下端与排残管道相连，物料在洗涤塔23内经过喷淋洗涤后，硅粉颗粒与洗涤液体一起成为残液，直接进入排残管道进行排残回收处理。而气体则经过洗涤塔23上端通入冷凝器24。冷凝器24与中间凝液槽25相连，气体在冷凝器24内经过三级冷凝后成为洗涤液(主要为四氯化硅和三氯氢硅的液体)，再通入中间凝液槽25暂存。中间凝液槽25连接至洗涤液循环泵27，洗涤液循环泵27同时与洗涤塔23相连，洗涤液循环泵27抽取中间凝液槽25中的洗涤液，输送回洗涤塔23中喷淋洗涤进入洗涤塔23的物料，在洗涤塔23、冷凝器24与中间凝液槽25之间形成循环洗涤，最终将硅粉颗粒从气体中洗去后通过排残管道与残液一起排出处理。洗涤液循环泵27所抽取循环的液体，是洗涤塔23的气体通过冷凝形成的洗涤液，中间颗粒杂质少，较为纯净，洗涤液循环泵27的使用寿命一般较长。文丘里循环泵26通过管道同时连接洗涤塔23和文丘里洗涤器21，将洗涤塔23内的上层液体抽取出来作为洗涤液输送到文丘里洗涤器21洗涤进入文丘里洗涤器21内的物料，对物料进行降温并从气体中洗去硅粉颗粒，洗涤后的气体及含有硅粉的洗涤液经分离罐22分离后进入洗涤塔23循环，在维持洗涤塔23压力平衡的情况下一边进料，一边将含有硅粉的部分洗涤液从排残管道排残准备回收利用。为了保护文丘里循环泵26，过滤器28安装在洗涤塔23和文丘里循环泵26之间的管道上，滤去部分硅粉，减少硅粉对文丘里循环泵26的影响。这样，在文丘里循环泵26的动力作用下，部分物料可以在文丘里洗涤器21、分离罐22、洗涤塔23之间循环洗涤后洗去硅粉进入排残管道排残，同时可以有效地保持洗涤塔23内的压力平衡，避免爆炸等危险情况的发生。