[发明专利]缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，包括：

摄像头，该摄像头拍摄基板并输出电信号；以及

图像处理装置，该图像处理装置中输入有由所述摄像头输出的电信号，

所述图像处理装置使用从来自所述摄像头的电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测所述基板的缺陷部。

2.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述图像处理装置对所述多个信号的每一信号、根据多个图像生成全景图像，并使用所述多个信号各自的全景图像的对比度中较大的对比度，来检测所述基板的缺陷部。

3.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述多个信号包括色相、彩度、明度各自的信号。

4.一种缺陷修正装置，包括：

观察基板的光学系统；

摄像头，该摄像头拍摄所述基板并输出电信号；

图像处理装置，该图像处理装置中输入有由所述摄像头输出的电信号，并且该图像处理装置使用从来自所述摄像头的电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来计算出所述基板的缺陷部的坐标；以及

修正机构，该修正机构包括使观察所述基板的光学系统移动至所述计算出的坐标的工作台、除去所述缺陷部的激光装置、和对所述基板上除去所述缺陷部后的部分填充油墨的涂布机构中的至少某一个。

5.如权利要求4所述的缺陷修正装置，其特征在于，

所述缺陷修正装置包括所述激光装置和所述涂布机构，

根据所述缺陷部的位置，计算出激光的照射区域和油墨的涂布位置，自动除去所述缺陷部，并自动填充油墨。

6.一种缺陷检测方法，包括：

拍摄基板并输出电信号的步骤；以及

使用从所述电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度、检测所述基板的缺陷部的步骤。

7.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，

还包括对所述多个信号的每一信号、根据多个图像生成全景图像的步骤，

检测所述基板的缺陷部的步骤包含使用所述多个信号各自的全景图像的对比度中较大的对比度、检测所述基板的缺陷部的步骤。

8.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，

所述多个信号包括色相、彩度、明度各自的信号。

9.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，

还包括根据与所述缺陷部外接的长方形和画面的边界相接的长度、判断是否检测出整个所述缺陷部的步骤。

10.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，

还包括基于与缺陷外接的长方形的位置和大小、计算激光照射区域和油墨涂布位置的步骤。