[发明专利]料筒的内表面加工工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种表面加工工艺，尤其涉及一种放置硅晶片用的料筒的内表面加工工艺。

背景技术

料筒是生产硅晶片时所用的器具之一，在生产过程中，硅晶片连续从料筒上端投入到料筒中，然后又连续从料筒下端输出。因此，对料筒内表面的性能要求较高，一般对料筒内表面进行加工处理的方法为喷涂，即：对料筒内表面喷涂聚四氟乙烯（PTFE）， PTFE材料虽具有良好的机械性能、耐高温、耐腐蚀性能以及高润滑性能，但PTFE极其不耐磨，使得料筒内表面的磨损很大，料筒的使用寿命短，增加了企业的生产成本。 

发明内容

本发明所需解决的技术问题是：提供一种料筒的内表面加工工艺，使加工后的料筒内表面的耐磨性大大提高。 

为解决上述问题，本发明采用的技术方案是：本发明所述的料筒的内表面加工工艺，包括以下工艺步骤：

（1）素材脱脂：用浸泡过正已烷——俗称白电油的布均匀擦拭料筒内表面，将擦拭过白电油的料筒放置于封闭炉内，炉内温度为350-400℃，加热时间为90-110min；

（2）物理性表面积扩张：在6-8kg/cm²的压力下对料筒内表面进行喷砂处理，使料筒内表面形成凹陷式蜂窝状，使料筒内表面积扩张至1.5-1.8倍；

（3）除尘：选择5-7kg/cm²的气压吹净料筒内表面残留的细微砂尘；

（4）喷涂：用空气枪将聚醚醚酮乳液喷涂在料筒内表面上，常温下，内表面涂层微湿润、不挂流即可，控制内表面涂层厚度为50-70微米；

（5）内表面涂层预干：将喷涂后的料筒放置于封闭炉内，炉内温度为90-110℃，加热时间为15-25min；

（6）涂层烧结：将内表面喷涂预干好的料筒放置于封闭炉内，炉内温度为385-400℃，加热时间为90-110min；

（7）冷却：将料筒放置于常温下冷却，冷却后即得成品。 

进一步地，前述的料筒的内表面加工工艺，其中，步骤（2）中采用的喷砂料为三氧化二铝喷砂料。

进一步地，前述的料筒的内表面加工工艺，其中，步骤（5）中喷涂后的料筒需在5分钟之内放入封闭炉内进行内表面涂层预干。 

本发明的有益效果是：聚醚醚酮具有良好的耐高温性能、耐腐蚀性能、自润滑性能及耐磨性能，采用上述的表面加工工艺对料筒内表面进行涂装，料筒内表面的耐高温、耐腐蚀、自润滑性好、耐磨性好，大大增加了料筒的使用寿命，减少了企业的生产成本。 

附图说明

图1是进行表面加工后的料筒的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及优选实施例对本发明所述的技术方案作进一步详细的说明。

如图1所示，料筒由上法兰1、上筒体2和下筒体3组成，上法兰1、上筒体2和下筒体3之间通过焊接连接在一起，在对料筒的内表面进行涂装前，先要将焊缝打磨光滑，然后再进行涂装。

实施例一

料筒的内表面加工工艺，主要用于对料筒内表面进行涂装，包括以下工艺步骤：

（1）素材脱脂：用浸泡过白电油的布均匀擦拭料筒内表面，将擦拭过白电油的料筒放置于封闭炉内，炉内温度为350℃，加热时间为110min；

（2）物理性表面积扩张：在6kg/cm²的压力下对料筒内表面进行喷砂处理，使料筒内表面形成凹陷式蜂窝状，使料筒内表面积扩张至1.5倍，喷砂料为三氧化二铝喷砂料；

（3）除尘：选择5kg/cm²的气压吹净料筒内表面残留的细微砂尘；

（4）喷涂：用空气枪将聚醚醚酮乳液喷涂在料筒内表面上，常温下，内表面涂层4微湿润、不挂流即可，控制内表面涂层4的厚度为50微米；

（5）内表面涂层4预干：将喷涂后的料筒放置于封闭炉内，炉内温度为90℃，加热时间为25min，并且喷涂后的料筒需在5分钟之内放入封闭炉内；

（6）涂层烧结：将内表面喷涂预干好的料筒放置于封闭炉内，炉内温度为385℃，加热时间为110min；

（7）冷却：将料筒放置于常温下冷却，冷却后即得成品。

实施例二

料筒的内表面加工工艺，主要用于对料筒内表面进行涂装，包括以下工艺步骤：

（1）素材脱脂：用浸泡过白电油的布均匀擦拭料筒内表面，将擦拭过白电油的料筒放置于封闭炉内，炉内温度为380℃，加热时间为100min；