[发明专利]一种触摸屏引线的加工工艺

权利要求书

1.一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：它包括以下工艺步骤：

步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为300-400埃，控制Al中间层的厚度为2400-2600埃，控制Mo表层的厚度为400-500埃；

步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；

步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。

2.根据权利要求1 所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸50％～70％；硫酸10％～15％；硝酸5％～10％；2-溴-4-醛基噻唑1％～5％；水10％～30％。

3.根据权利要求2所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸50％～60％；硫酸12％～15％；硝酸5％～8％；2-溴-4-醛基噻唑1％～3％；水15％～25％。

4.根据权利要求2或3 所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硫酸98%、硝酸62％。

5.根据权利要求1 所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸40％～50％；硝酸5％～10％；醋酸钠10％～15％；3-噻唑-2-甲酰氯1％～5％；4-氯苯磺酸1％～5％；水10％～30％。

6.根据权利要求5所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸45％～50％；硝酸8％～10％；醋酸钠12％～15％；3-噻唑-2-甲酰氯1％～3％；4-氯苯磺酸1％～2％；水10％～30％。

7.根据权利要求5或6所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硝酸62％。