[发明专利]一种触摸屏引线的加工工艺

说明书

技术领域

 本发明涉及触摸屏引线加工技术领域，具体涉及一种触摸屏引线的加工工艺。

背景技术

在触摸屏制作过程中，通常采用Mo-Al-Mo 作为边缘引线( 上下两层Mo层分别起保护Al层和增加附着力作用) 将纵横向电极与FPC 连通。制作过程中，通常先在玻璃基片上依次溅镀底层Mo层、中间Al层和表层Mo层，溅镀体系通常是以氩气为保护气体；接着对溅镀好的Mo-Al-Mo层进行刻蚀，以得到相应的Mo-Al-Mo触摸屏引线，最后在上面再溅镀ITO层。实践证明，若刻蚀后的Mo-Al-Mo 断面处为斜坡状时，即在玻璃表面上Mo-Al-Mo层的刻蚀断面处底层Mo层延伸出中间Al层，而同时Al层又延伸出表层Mo层，再在其上溅镀的ITO层就与MO-Al-Mo层在断面处充分接触，不留间隙，最终制得的器件可靠性就比较高。

但是在实际工艺过程中，由于普通蚀刻液对Al的刻蚀速率比Mo 快，这样刻蚀出来的结果是Mo凸出，Al凹进，往往是中间的Al层刻蚀的多，而底层与表层的Mo刻蚀的少，在断面处容易出现底切现象。这样的话，一方面断面凹陷处Al的边缘容易残留蚀刻液，容易对Al层进行进一步的腐蚀，降低了最终制得的器件的可靠性和缩短了其寿命；另一方面，当在刻蚀后的Mo-Al-Mo层上面镀ITO时，由于断面处存在Al层的凹陷，不能保证Al层与ITO层的充分接触而容易形成断路。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种工艺简单、能使Mo-Al-Mo的断面处为斜坡状的触摸屏引线的加工工艺。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种触摸屏引线的加工工艺，它包括以下工艺步骤：

步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为300-400埃，控制Al中间层的厚度为2400-2600埃，控制Mo表层的厚度为400-500埃；

步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；

步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。

优选的，所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸50％～70％；硫酸10％～15％；硝酸5％～10％；2-溴-4-醛基噻唑1％～5％；水10％～30％。

更为优选的，磷酸50％～60％；硫酸12％～15％；硝酸5％～8％；2-溴-4-醛基噻唑1％～3％；水15％～25％。

优选的，所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硫酸98%、硝酸62％。

优选的，所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸40％～50％；硝酸5％～10％；醋酸钠10％～15％；3-噻唑-2-甲酰氯1％～5％；4-氯苯磺酸1％～5％；水10％～30％。

更为优选的，所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸45％～50％；硝酸8％～10％；醋酸钠12％～15％；3-噻唑-2-甲酰氯1％～3％；4-氯苯磺酸1％～2％；水10％～30％。 

优选的，所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硝酸62％。

本发明与现有技术相比较，有益效果在于：本发明采用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，其中的硫酸对Al层起到了一定程度的钝化作用，减缓了Al层的刻蚀速度，用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，醋酸钠钠起到了缓冲剂的作用，使Al层的刻蚀速度得到控制，本发明工艺简单，只用过两次蚀刻液进行蚀刻就能使刻蚀后的Mo-Al-Mo触摸屏引线在断面处为斜坡状的结构。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明作进一步的说明。

实施例1。

一种触摸屏引线的加工工艺，它包括以下工艺步骤：

步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为300埃，控制Al中间层的厚度为2400埃，控制Mo表层的厚度为400埃；

步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；

步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。