[发明专利]CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法有效

专利信息
申请号: 201310389178.5 申请日: 2013-08-30
公开(公告)号: CN104425645A 公开(公告)日: 2015-03-18
发明(设计)人: 王振华;陶尚辉;杨凯;刘昌念;谢建;高云峰 申请(专利权)人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518055 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: cigs 薄膜 太阳能电池 mo 方法
【权利要求书】:

1.一种CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法,其特征在于,包括:

将待清边的电池放置工作台上;

机械刻刀移动到待清边的位置上方;

所述机械刻刀受恒力驱使下降并匀速穿透待清边的电池的透明导电层和CIGS吸收层,其中,所述恒力小于所述机械刻刀穿透所述待清边的电池的MO层所需的力;

所受恒力持续输出,使得所述机械刻刀的刀头正好与所述MO层的表面接触;

所述待清边的电池与所述机械刻刀相对水平移动,刮除掉所述透明导电层和CIGS吸收层的边缘。

2.如权利要求1所述的CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法,其特征在于,所述待清边的电池与所述机械刻刀相对水平移动,刮掉所述透明导电层和CIGS吸收层的边缘步骤具体为:

所述机械刻刀保持位置不变,所述工作台带动所述待清边电池水平移动,刮除掉所述透明导电层和CIGS吸收层的边缘;

或者所述待清边的电池不动,所述机械刻刀水平移动,刮除掉所述透明导电层和CIGS吸收层的边缘。

3.如权利要求1所述的CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法,其特征在于,所述机械刻刀受恒力驱使下降并匀速穿透待清边的电池的透明导电层和CIGS吸收层步骤之前,所述机械刻刀先下降到待清边的电池表面1~2mm处。

4.如权利要求1所述的CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法,其特征在于,所述恒力为1~2N,调节精度为0.01N,波动范围小于5%。

5.如权利要求1所述的CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法,其特征在于,所述工作台上设有吸附装置,所述待清边的电池被吸附在所述工作台上。

6.如权利要求1所述的CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法,其特征在于,所述机械刻刀的刀头为钨钢材质或金刚石材质。

7.如权利要求1所述的CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法,其特征在于,所述机械刻刀的刀头与所述待清边电池的表面垂直度在±5um以内。

8.如权利要求1所述的CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法,其特征在于,所述机械刻刀的刃口宽度为2~4mm。

9.如权利要求1所述的CIGS薄膜太阳能电池留Mo清边的方法,其特征在于,所述机械刻刀的刀头底部平面度在±5um以内。

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