[发明专利]一种超细β碳化硅及其制备方法

权利要求书

1.一种超细β碳化硅的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）混合样品：

将水洗好的硅源和碳源按1:（0.2～2）的比例混合，并加水搅拌均匀，过滤，烘干，得到样品A；

2）高温反应：

将样品A装入坩埚，在样品A上铺一层活性炭；放入高温炉内，在1200～1800℃的温度下保温1～10h，反应完后得到样品B；

3）煅烧除炭：

将样品B粉碎过20目筛网后，放入瓷坩埚内，然后在400～900℃的温度下煅烧1～10h，除去游离炭，得到样品C；

4）酸碱洗除杂：

将样品C倒入球磨罐，加水球磨；再向球磨完的样品溶液中加入NaOH，使样品溶液的碱浓度达到1～20%，并加热；将加碱反应后的样品过滤水洗，水洗至滤液的电导率为100μS/cm以下，pH值为9以下；取出水洗后的样品并加水搅拌，再向其中加入无机酸，使溶液酸浓度达到1～10%，并加热；待反应完后过滤砂浆，对滤饼进行水洗、烘干处理之后，过500目筛网，得到超细β碳化硅。

2.根据权利要求1所述的超细β碳化硅的制备方法，其特征在于：所述步骤1）中，硅源是从硅片切割废砂浆中提取的，硅源用水洗0～5次；碳源为活性炭、炭黑或木炭中的一种或多种的混合物。

3.根据权利要求1所述的超细β碳化硅的制备方法，其特征在于：所述步骤1）中，过滤所用的过滤器为高压过滤器、离心分离器、真空过滤器或板框压滤机。

4.根据权利要求1所述的超细β碳化硅的制备方法，其特征在于：所述步骤1）中，烘干所用的干燥器为热风循环烘箱、普通干燥机或真空干燥器。

5.根据权利要求1所述的超细β碳化硅的制备方法，其特征在于：所述步骤2）中的坩埚为石墨坩埚、刚玉坩埚、氧化锆坩埚或碳化硅坩埚。

6.根据权利要求1所述的超细β碳化硅的制备方法，其特征在于：所述步骤2）中，高温炉为箱式高温炉、高温电阻炉、高温真空炉、箱式气氛炉或高温管式气氛炉。

7.根据权利要求1所述的超细β碳化硅的制备方法，其特征在于：所述步骤3）中，样品B在瓷坩埚内铺成厚度为1～10cm的样品层。

8.根据权利要求1所述的超细β碳化硅的制备方法，其特征在于：所述步骤4）中，加入无机碱反应时的加热温度为50～100℃，反应时间为1～10h；加入无机酸反应时的加热温度为40～80℃，反应时间为1～10h。

9.根据权利要求1或8所述的超细β碳化硅的制备方法，其特征在于：所述步骤4）中，加入的无机酸为盐酸、硫酸或氢氟酸中的一种或多种。

10.一种根据权利要求1至10任意一项所述的制备方法制备的超细β碳化硅，其特征在于：所述β碳化硅的粒径为0.5～6μm，无α相碳化硅生成，β碳化硅含量在98%以上。