[发明专利]圆盘状基板的形状测定装置及其方法

权利要求书

1.一种圆盘状基板的形状测定装置，其特征在于，具备：

测定部，不与圆盘状基板的圆周边缘接触地测定所述圆周边缘的形状；

计算部，使用基于所述圆周边缘的形状的测定数据而提取的边缘上的多个点数据，计算与所述圆周边缘近似的近似圆的形状数据；

输出部，输出由所述计算部计算出的形状数据；

搬出/搬入机构，将圆盘状基板从收纳容器搬出，并且在进行了所述圆周边缘的形状的测定后将所搬出的圆盘状基板搬入所述收纳容器；以及

移动机构，使所述收纳容器与所述搬出/搬入机构的相对位置移动，以使所述搬出/搬入机构能够将收纳在所述收纳容器中的其他圆盘状基板搬出/搬入。

2.根据权利要求1所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述计算部不使用所述圆周边缘的异常部分上的点数据地计算所述近似圆的形状数据。

3.根据权利要求2所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述异常部分是因所述圆盘状基板被所述搬出/搬入机构的基板支承部支承而使得所述测定部无法准确地测定所述圆周边缘的形状的测定数据的部分。

4.根据权利要求2或3所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述计算部在由所述测定部测定所述圆周边缘整体的形状后，除去所述异常部分上的点数据，计算所述近似圆的形状数据。

5.根据权利要求2至4的任意一项所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述异常部分通过将所述提取的边缘上的多个点数据中彼此靠近的数据相互比较来进行检测。

6.根据权利要求3所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述计算部在由所述测定部测定所述圆周边缘整体中除去了所述异常部分的部分的形状后，计算所述近似圆的形状数据。

7.根据权利要求1或2所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述搬出/搬入机构的基板支承部具有透明部，所述透明部在支承圆盘状基板的部分使光透过。

8.根据权利要求1至7的任意一项所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述圆盘状基板的形状测定装置具备倾斜检测部，所述倾斜检测部检测被所述搬出/搬入机构的基板支承部支承的圆盘状基板的倾斜，

所述计算部使用由所述倾斜检测部检测出的倾斜来修正地计算所述近似圆的形状数据。

9.根据权利要求8所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述计算部根据由所述倾斜检测部检测出的倾斜来校正所述提取的边缘上的点数据。

10.根据权利要求8或9所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述倾斜检测部是非接触式的移位传感器。

11.根据权利要求10所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述移位传感器是能够检测所述搬出的圆盘状基板的板厚的传感器。

12.根据权利要求1至11的任意一项所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述搬出/搬入机构的基板支承部具有承托所述圆周边缘的承托部，

通过使所述基板支承部相对于水平面倾斜，使由所述基板支承部支承的圆盘状基板的主平面与所述承托部抵接。

13.根据权利要求1至12的任意一项所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述输出部输出通知所述提取的边缘上的点数据的异常的信息和通知由所述计算部计算出的形状数据的异常的信息的至少一方。

14.根据权利要求1至13的任意一项所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述圆周边缘是在中央部具有圆孔的圆盘状基板的内周和外周的至少一方的边缘。

15.根据权利要求14所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述近似圆的形状数据是包括直径和圆度的至少一方的数据。

16.根据权利要求1至15的任意一项所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述圆盘状基板是玻璃基板。

17.根据权利要求16所述的圆盘状基板的形状测定装置，其中，

所述玻璃基板是磁记录介质用玻璃基板。