[发明专利]圆盘状基板的形状测定装置及其方法在审
申请号: | 201310394839.3 | 申请日: | 2013-09-03 |
公开(公告)号: | CN103673919A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 土屋诚 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 谢丽娜;关兆辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 圆盘 状基板 形状 测定 装置 及其 方法 | ||
技术领域
本发明涉及测定圆盘状基板的圆周边缘的形状的技术。
背景技术
作为涉及测定圆盘状基板的圆周边缘的形状的装置的现有技术文献,已知例如专利文献1、2。专利文献1的测定装置具有内径测定部,所述内径测定部使在中央形成有圆孔的圆盘状基板向面内方向旋转成为多个不同的姿势,按多个不同的姿势取得圆孔的弦的长度,将最大的弦的长度作为圆孔的内径样本值,从而确定内径。专利文献2的测定装置具有内径测定部,所述内径测定部通过受光部所取得的光量分布来取得基板的圆孔的弦的长度,将最大的弦的长度作为圆孔的内径。
专利文献1:日本特开2009-14362号公报
专利文献2:日本特开2011-220999号公报
然而,在专利文献1的测定装置中,若不使基板成为多个不同的姿势则无法最终测定内径,因而可能存在测定时间变长而生产率变差的问题。而且,在专利文献2的测定装置中,将最大的弦的长度作为圆孔的内径,因此测定精度容易受到圆孔的圆度影响。
发明内容
本发明的目的在于提供一种圆盘状基板的形状测定装置及其方法,能够高速且高精度地测定圆盘状基板的圆周边缘的形状。
为了达成上述目的,本发明提供一种圆盘状基板的形状测定装置,其具备:
测定部,不与圆盘状基板的圆周边缘接触地测定所述圆周边缘的形状;
计算部,使用基于所述圆周边缘的形状的测定数据而提取的边缘上的多个点数据,计算与所述圆周边缘近似的近似圆的形状数据;
输出部,输出由所述计算部计算出的形状数据;
搬出/搬入机构,将圆盘状基板从收纳容器搬出,并且在进行了所述圆周边缘的形状的测定后将所搬出的圆盘状基板搬入所述收纳容器;以及
移动机构,使所述收纳容器与所述搬出/搬入机构的相对位置移动,以使所述搬出/搬入机构能够将收纳在所述收纳容器中的其他圆盘状基板搬出/搬入。
而且,为了达成上述目的,本发明提供一种圆盘状基板的形状测定方法,其包括如下工序:
搬出工序,通过搬出/搬入机构将圆盘状基板从收纳容器搬出;
测定工序,不与在所述搬出工序中被搬出的圆盘状基板的圆周边缘接触地测定所述圆周边缘的形状;
计算工序,使用基于所述圆周边缘的形状的测定数据而提取的边缘上的多个点数据,计算与所述圆周边缘近似的近似圆的形状数据;
输出工序,输出在所述计算工序中计算出的形状数据;
搬入工序,在进行了所述圆周边缘的形状的测定后将由所述搬出/搬入机构搬出的圆盘状基板搬入所述收纳容器;以及
移动工序,使所述收纳容器与所述搬出/搬入机构的相对位置移动,以便能够将接下来要进行测定的圆盘状基板搬出/搬入。
根据本发明,能够高速且高精度地测定圆盘状基板的圆周边缘的形状。
附图说明
图1是示意性地示出形状测定装置的一例的图。
图2是搬出/搬入机构的基板支承部的变形例。
图3是示出基于圆周边缘的摄像数据提取的边缘和该边缘上的多个点的坐标数据的图。
图4是示出通过线性激光求得内周边缘上的多个坐标数据,并计算与内周边缘近似的近似圆的形状数据的方法的一例的图。
图5是示出通过线性激光求得外周边缘上的多个坐标数据,并计算与外周边缘近似的近似圆的形状数据的方法的一例的图。
图6是示出通过面阵相机求得圆周边缘上的多个坐标数据的情况的图。
图7是从上方观察盒的图。
图8是说明升降机构和移动机构两者的动作的说明图。
图9是用于说明玻璃基板和基板保持器的支承状态的图。
图10是示出近似圆的形状数据的计算/输出方法的一例的流程图。
具体实施方式
下面,按照附图说明本发明的实施方式。
[形状测定装置的结构]
图1是示意性地示出本发明的一种实施方式的形状测定装置1的结构的图。玻璃基板W的形状测定装置1的主要结构包括激光光源11、受光部12、计算机14、显示器15、基板支承部20、驱动机构45和载物架44。玻璃基板W是在中央部形成有圆状的圆孔C的环状的圆盘状基板。
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