[发明专利]编带单元及电子零件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种编带单元(taping unit)及具备编带单元的电子零件检查装置，所述编带单元在载带(carrier tape)上收容电子零件，并进行外观检查，以去除不良品并再填充良品。

背景技术

半导体元件等电子零件经过切割(dicing)、安装(mounting)、接合(bonding)及密封(sealing)等各装配工序而分离成单片之后，进行各种检查等工序。该工序一般是由被称作测试处理机(test handler)的电子零件检查装置来进行。该测试处理机是使主平台(main table)旋转，利用吸嘴等保持设备来保持搬送部的电子零件，并搬送至各检查装置以进行检查。结束检查的电子零件在编带单元中被收容至载带的收纳袋(pocket)U内。

收容有电子零件的载带通过卷绕马达(motor)受到卷绕，但在此之前要进行外观检查。外观检查是用于检测电子零件未以正确的方向被收容在收纳袋内、所收容的电子零件存在缺陷、收纳袋为空等不良。作为检查的方法，是使用链轮(sprocket)来间歇性地移送载带，并在移送路径上配置拍摄电子零件的摄像机(camera)，以对电子零件进行拍摄。当从摄像机的拍摄图像检测出不良时，使用吸嘴等去除设备从收纳袋取出并去除电子零件。然后，沿着与移送方向相反的方向移送载带，使空的收纳袋U返回电子零件的收容位置，以收容新的电子零件(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开WO2010/089275号公报

载带的移送是通过旋转的链轮的突起贯穿载带上所设的链轮孔而进行。此处，若在孔与突起之间存在间隙，则在朝向逆方向的移送过程中会产生晃动，从而收纳袋的位置有可能会偏离要收容的电子零件。因此，尤其在小型电子零件的情况下，为了防止此种晃动，有时还要将孔与突起调整成无间隙地卡合，或者需要在朝向逆方向移送时移动编带单元自身的机构。而且，在逆方向移送载带时，可能引起载带卷入而发生编带单元的动作不良。

进而，在检查位置偏离收容位置的情况下，朝向逆方向的移送距离将变长。这样，还有可能造成如下情况：已收容有电子零件的载带返回到链轮的位置并变为朝下，从而导致内装的电子零件发生脱落。

因此，考虑采用如下结构，即，在收容位置附近与摄像机之下的移送路径正上方配置多个棱镜(prism)，将电子零件的像经由这些棱镜来导至摄像机，从而使收容位置与外观检查位置接近，以使载带朝向逆方向的移送距离达到最小限度。

但是，该方法依然需要编带单元朝向逆方向的移送。进而，为了拍摄电子零件，需要对电子零件进行照射的照明装置，但由于在移送路径正上方配置有棱镜，因此无法获得充分的空间(space)，照明装置也须小型化。由此存在下述问题：无法确保足够的光量，精密的外观检查变得困难。例如，有落有影子的部位的外观检查变得困难，或者即使通过图像处理，也可能无法判别出裂纹(crack)。

发明内容

本发明是为了解决如上所述的问题而提出，其目的在于提供一种编带单元及电子零件检查装置，在编带单元的外观检查中，不将载带朝向逆方向移送而进行与检查结果相应的不良零件的去除及良品的再填充，由此，降低编带不良的发生的可能性，从而可靠性高。

[解决课题的手段]

本发明的编带单元将电子零件收容至沿长度方向排列有多个收容部的载带上并在移送路径上予以移送，该编带单元具备以下部分：

(a)移送部，沿着移送路径来移送载带，所述载带在位于移送路径上的收容位置的收容部中收容有电子零件；

(b)外观检查部，配置在比收容位置更靠移送方向下游侧的检查位置，对由移送部移送至该检查位置的电子零件进行检查；以及

(c)保持部，在移送路径的上方，在收容位置与检查位置之间呈直线状移动。根据外观检查部的检查结果，从位于检查位置的收容部去除并排出电子零件，且从位于收容位置的收容部取出并保持电子零件，并将保持着的电子零件收容至位于检查位置的收容部。

根据本发明的一实施方式，也可在收容位置与检查位置之间设置排出位置，从位于检查位置的收容部去除了电子零件的保持部移动到该排出位置，以排出电子零件。