[发明专利]PM2.5检测装置及其制造方法

权利要求书

1. 一种PM2.5检测装置，其特征是：包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构（A）以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构（B），所述颗粒分离机构（A）的出口端与PM2.5检测机构（B）的入口端连接，所述PM2.5检测机构（B）包括检测腔体（18），所述检测腔体（18）的外侧设置检测光源（20）及光探测器（21），检测光源（20）发出的光线通过检测腔体（18）上的光入射窗口（22）进入检测腔体（18）内，光探测器（21）通过检测腔体（18）上的光出射窗口（23）接收检测腔体（18）内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线，所述光探测器（21）根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。

2.根据权利要求1所述的PM2.5检测装置，其特征是：所述检测光源（20）包括红外光源、紫外光源和激光光源，光探测器（21）包括红外探测器、紫外探测器和激光探测器。

3.根据权利要求1所述的PM2.5检测装置，其特征是：所述颗粒分离机构（A）包括颗粒分离机构框体（1），所述颗粒分离机构框体（1）内的一端设置空气入口（3），另一端设置空气出口（17），所述空气出口（17）通过降尘室机构与空气入口（3）相连通；所述降尘室机构包括第一级降尘室（5）、第二级降尘室（9）及第三级降尘室（13），所述第一级降尘室（5）的上方设置第一级挡尘板（6），第二级降尘室（9）的上方设置第二级挡尘板（10），第三极降尘室（13）的上方设置第三级挡尘板（14），所述第一级挡尘板（6）、第二级挡尘板（9）及第三级挡尘板（13）与空气入口（3）相对应，第一级挡尘板（6）与第一级降尘室（5）及第二级降尘室（9）的结合部形成第一级挡尘间隙（7），第二级挡尘板（10）与第二级降尘室（9）及第三级降尘室（13）的结合部形成第二级挡尘间隙（11），第三级挡尘板（14）与颗粒分离机构框体（1）间形成第三级挡尘间隙（15），所述第三级挡尘间隙（15）与空气出口（17）相连通，第三级挡尘间隙（15）的尺寸不大于2.5μm。

4.根据权利要求3所述的PM2.5检测装置，其特征是：所述颗粒分离机构框体（1）内的下部设置液体流道（2），所述液体流道（2）沿空气入口（3）指向空气出口（17）的方向分布，并贯通所述颗粒分离机构框体（1）；液体流道（2）分别通过第一级入液口（8）、第二级入液口（12）及第三级入液口（16）与第一级降尘室（5）、第二级降尘室（9）及第三级降尘室（13）相连通。

5.根据权利要求2所述的PM2.5检测装置，其特征是：所述检测腔体（18）的长度为0.1~100mm，检测腔体（18）内涂覆有高反射层。

6.根据权利要求3所述的PM2.5检测装置，其特征是：所述第一级挡尘间隙（7）的尺寸为10~50μm，第二级挡尘间隙（11）的尺寸为5~10μm。

7.一种PM2.5检测装置的制备方法，其特征是，所述PM2.5检测装置的制备方法包括如下步骤：

（a）、提供所需的颗粒分离机构基底，选择性地掩蔽和刻蚀所述颗粒分离机构基底，以在所述颗粒分离机构基底上得到所需的颗粒分离机构框体（1），所述颗粒分离机构框体（1）包括位于一端的空气入口（3）及位于另一端的空气出口（17），所述空气出口（17）通过降尘室机构与空气入口（3）相连通；

（b）、在所述颗粒分离机构框体（1）上设置用于实现半封闭降尘室机构的盖体，以形成颗粒分离机构（A）；

（c）、在颗粒分离机构（A）的空气出口（17）设置PM2.5检测机构（B）的检测腔体（18），所述检测腔体（18）与空气出口（17）相连通；在所述检测腔体（18）上设置光入射窗口（21）及光出射窗口（23）；

（d）、在检测腔体（18）的外侧设置检测光源（20）及光探测器（21），所述检测光源（20）与光入射窗口（21）相对应，光探测器（21）与光出射窗口（23）相对应，检测光源（20）发出的光线通过检测腔体（18）上的光入射窗口（22）进入检测腔体（18）内，光探测器（21）通过检测腔体（18）上的光出射窗口（23）接收检测腔体（18）内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线，所述光探测器（21）根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。