[发明专利]车灯玻璃连续镀膜装置及方法

权利要求书

1.车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，包括呈直线式连续排列的多个真空室，第一个真空室的入口处、最后一个真空室的出口处以及任意相邻的两个真空室之间的连接处分别设有真空插板阀，各个真空室分别外接抽真空机构；第一个真空室的入口端设有前旋转台，最后一个真空室的出口端设有后旋转台，前旋转台与后旋转台之间通过输送带连接，前旋转台、多个真空室和后旋转台之间形成连续式的循环系统。

2.根据权利要求1所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，按照玻璃工件的输送方向，所述多个真空室包括依次连接的前粗抽室、离子清洗室、前精抽室、主镀膜室、保护层镀膜室、后精抽室和后粗抽室；

前粗抽室的入口处设置第一真空插板阀，前粗抽室与离子清洗室的连接处设置第二真空插板阀，离子清洗室与前精抽室的连接处设置第三真空插板阀，前精抽室与主镀膜室的连接处设置第四真空插板阀，主镀膜室与保护层镀膜室的连接处设置第五真空插板阀，保护层镀膜室与后精抽室的连接处设置第六真空插板阀，后精抽室与后粗抽室的连接处设置第七真空插板阀，后粗抽室的出口处设置第八真空插板阀；

前粗抽室外接第一抽真空机构，离子清洗室和后精抽室分别外接第二抽真空机构，前精抽室、主镀膜室和保护层镀膜室分别外接第三抽真空机构，后粗抽室外接第四抽真空机构；离子清洗室、前精抽室、主镀膜室、保护层镀膜室和后精抽室分别设有独立的扩散泵，并通过扩散泵外接相应的抽真空机构。

3.根据权利要求2所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述主镀膜室内设有旋转式的磁控溅射靶。

4.根据权利要求1所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述前旋转台呈圆形结构，前旋转台的圆周方向上均匀分布有多个工件架工位；后旋转台的结构与前旋转台相同；前旋转台上设有上件工位，后旋转台上设有卸件工位。

5.根据权利要求1所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述真空插板阀包括阀板、阀板开关气缸和阀板锁紧机构，两个真空室的工件通孔之间为连接通道，阀板设于连接通道内，阀板开关气缸与阀板外侧面连接，阀板锁紧机构与阀板板面连接；连接通道内设有阀板运动通道，阀板运动通道贴紧于其中一个真空室的工件通孔，阀板设于阀板运动通道内。

6.根据权利要求5所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述阀板开关气缸设于阀板运动通道外端，阀板开关气缸的活塞末端伸入阀板运动通道，且阀板开关气缸的活塞末端与阀板外侧面连接；阀板处于关闭状态时，阀板一侧的板面封住相应真空室的工件通孔，阀板另一侧的板面与阀板锁紧机构连接。

7.根据权利要求5所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述阀板锁紧机构有两组，分别设于阀板板面的左右两侧；各阀板锁紧机构分别包括阀板压紧气缸、阀板压紧臂和锁紧转轴，阀板压紧气缸的活塞末端与阀板压紧臂连接，阀板压紧臂中部设置锁紧转轴；

阀板压紧臂设于锁紧转轴上端，锁紧转轴下端设有辅助压紧臂；阀板压紧臂为滚轮结构；

阀板压紧气缸的运动方向与阀板开关气缸的运动方向互相垂直。

8.根据权利要求2或3任一项所述装置实现一种车灯玻璃连续镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）带有车灯玻璃工件的工件架进入前旋转台上相应的工件架工位后，第一真空插板阀打开，前旋转台的旋转将工件架带入前粗抽室内，然后关闭第一真空插板阀；

（2）第一抽真空机构对前粗抽室内进行抽真空，直至前粗抽室内的真空度达到50Pa；

（3）第二真空插板阀打开，工件架进入离子清洗室，然后关闭第二真空插板阀；在离子清洗室内，工件架持续旋转，同时设于离子清洗室内的线形离子源对车灯玻璃工件进行离子清洗；第二抽真空机构通过扩散泵对离子清洗室内进行抽真空，直至离子清洗室内的真空度达到5×10^-1Pa；

（4）离子清洗结束后，工件架停止旋转；第三真空插板阀打开，工件架进入前精抽室，然后关闭第三真空插板阀；第二抽真空机构通过扩散泵对前精抽室内进行抽真空，直至前精抽室内的真空度达到5×10^-2Pa；

（5）第四真空插板阀打开，工件架进入主镀膜室，然后关闭第四真空插板阀；在主镀膜室内，工件架持续旋转，同时主镀膜室内的磁控溅射靶旋转，将镀膜材料溅射镀到车灯玻璃工件上；第三抽真空机构通过扩散泵对主镀膜室内进行抽真空，直至主镀膜室内的真空度达到2×10^-1Pa；

（6）镀膜结束后，工件架停止旋转；第五真空插板阀打开，工件架进入保护层镀膜室，然后关闭第五真空插板阀；在保护层镀膜室内，工件架持续旋转，同时开启保护层镀膜源，在车灯玻璃工件表面镀上保护层；第三抽真空机构通过扩散泵对保护层镀膜室内进行抽真空，直至保护层镀膜室内的真空度达到2×10^-1Pa；

（7）保护层镀膜完成后，工件架停止旋转；第六真空插板阀打开，工件架进入后精抽室，然后关闭第六真空插板阀；第二抽真空机构通过扩散泵对离子后精抽室内进行抽真空，直至后精抽室内的真空度达到5×10^-2Pa；

（8）第四抽真空机构对后粗抽室进行抽真空，直至后粗抽室内的真空度达到10Pa；然后第七真空插板阀打开，工件架进入后粗抽室，再关闭第七真空插板阀；

（9）对后粗抽室进行放气，直至后粗抽室内的气压达到大气平衡；然后打开第八真空插板阀，工件架被送至后旋转台上，再关闭第八真空插板阀；工件架在卸件工位上被送出镀膜装置。