[发明专利]车灯玻璃连续镀膜装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及车灯玻璃镀膜技术领域，特别涉及一种车灯玻璃连续镀膜装置及方法。

背景技术

传统用于车灯玻璃镀膜的设备一般为单真空室设备，工件的整个镀膜工艺（包括抽气、离子清洗、镀膜、镀保护层等）均在同一真空室内完成，由于各工序对真空室的真空度要求各不相同，因此，该设备在实际生产应用中存在以下缺陷：

（1）由于工件的整个镀膜工艺均在同一真空室内完成，使得该真空室结构复杂，真空室内的真空度也必须按最高要求设备，设备维护成本相当高；

（2）该设备只设有一个真空室，当工件加工完成后，必须打开真空室才能更换工件，这就容易破坏整个镀膜工艺的真空气氛，影响后续镀膜工艺的正常进行，也容易影响产品质量；同时，该真空室内无法完成工件表面的清洁即沉积等工艺，对工件的表面处理工艺必须采用其它专用设备完成，这就加大了工艺的复杂性，工件的表面质量也难以得到较好的控制。

（3）传统的单真空室设备中普遍采用平面靶作为镀膜靶材，由于车灯玻璃带有弧形面，所以经常存在工件表面镀膜不均匀的现象。

另外，目前常用于镀膜机真空室的真空插板阀一般为翻板式结构，即通过翻转阀板实现真空室工件通孔的启闭，但该结构的真空插板阀中，由于阀板采用翻转式，所占的空间较大，真空插板阀关闭时由于阀板靠自重挡住工件通孔，挡板底部没有相应的固定机构，其密封效果不好；另外，真空插板阀必须设于真空室内部，其加工难度大，阀板易变形，日常的维护也相当困难。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种原理简单、工件表面镀膜效果较好的车灯玻璃连续镀膜装置。

本发明的另一目的在于提供一种通过上述装置实现的车灯玻璃连续镀膜方法。

本发明的技术方案为：车灯玻璃连续镀膜装置，包括呈直线式连续排列的多个真空室，第一个真空室的入口处、最后一个真空室的出口处以及任意相邻的两个真空室之间的连接处分别设有真空插板阀，各个真空室分别外接抽真空机构；第一个真空室的入口端设有前旋转台，最后一个真空室的出口端设有后旋转台，前旋转台与后旋转台之间通过输送带连接，前旋转台、多个真空室和后旋转台之间形成连续式的循环系统。

按照玻璃工件的输送方向，所述多个真空室包括依次连接的前粗抽室、离子清洗室、前精抽室、主镀膜室、保护层镀膜室、后精抽室和后粗抽室；

前粗抽室的入口处设置第一真空插板阀，前粗抽室与离子清洗室的连接处设置第二真空插板阀，离子清洗室与前精抽室的连接处设置第三真空插板阀，前精抽室与主镀膜室的连接处设置第四真空插板阀，主镀膜室与保护层镀膜室的连接处设置第五真空插板阀，保护层镀膜室与后精抽室的连接处设置第六真空插板阀，后精抽室与后粗抽室的连接处设置第七真空插板阀，后粗抽室的出口处设置第八真空插板阀；

前粗抽室外接第一抽真空机构，离子清洗室和后精抽室分别外接第二抽真空机构，前精抽室、主镀膜室和保护层镀膜室分别外接第三抽真空机构，后粗抽室外接第四抽真空机构；离子清洗室、前精抽室、主镀膜室、保护层镀膜室和后精抽室分别设有独立的扩散泵，并通过扩散泵外接相应的抽真空机构。

所述主镀膜室内设有旋转式的磁控溅射靶。采用旋转式的磁控溅射靶作为镀膜靶材，可实现工件表面均匀镀膜，提高产品质量。

所述前旋转台呈圆形结构，前旋转台的圆周方向上均匀分布有多个工件架工位；后旋转台的结构与前旋转台相同；前旋转台上设有上件工位，后旋转台上设有卸件工位。前旋转台及后旋转台的结构配合多个真空室的分布，可使整个镀膜装置的结构更紧凑，形成的循环系统可有效提高设备的机械化程度，控制灵活，减少人工操作，降低误差率及人工成本。

所述真空插板阀包括阀板、阀板开关气缸和阀板锁紧机构，两个真空室的工件通孔之间为连接通道，阀板设于连接通道内，阀板开关气缸与阀板外侧面连接，阀板锁紧机构与阀板板面连接；连接通道内设有阀板运动通道，阀板运动通道贴紧于其中一个真空室的工件通孔，阀板设于阀板运动通道内。

所述阀板开关气缸设于阀板运动通道外端，阀板开关气缸的活塞末端伸入阀板运动通道，且阀板开关气缸的活塞末端与阀板外侧面连接；阀板处于关闭状态时，阀板一侧的板面封住相应真空室的工件通孔，阀板另一侧的板面与阀板锁紧机构连接。

所述阀板锁紧机构有两组，分别设于阀板板面的左右两侧；各阀板锁紧机构分别包括阀板压紧气缸、阀板压紧臂和锁紧转轴，阀板压紧气缸的活塞末端与阀板压紧臂连接，阀板压紧臂中部设置锁紧转轴；

阀板压紧臂设于锁紧转轴上端，锁紧转轴下端设有辅助压紧臂；阀板压紧臂为滚轮结构；