[发明专利]光学模块、电子设备以及驱动方法

说明书

技术领域

本发明涉及具备波长可变干涉滤波器的光学模块、电子设备及驱动方法。

背景技术

现有技术中，已知有使用波长可变干涉滤波器测定光谱的装置（例如，参照专利文献1）。

该专利文献1所记载的装置是具备使设置有反射膜的基板彼此相对并在基板间设置有压电元件的法布里-帕罗干涉部（波长可变干涉滤波器）、以及对压电元件施加电压的控制电路的可变干涉装置（光学模块）。在该光学模块中，通过对压电元件施加电压改变基板间的间隔，从而改变透过波长可变干涉滤波器的光的波长。

然而，在上述的专利文献1中，在测定对象波长区域中，设波长可变干涉滤波器的峰值波长的次数m为相同值（m=1），取出各波长的光。

然而，在将次数m固定为低次的情况下，存在随着作为测定对象的波长的不同，反射膜间的间隙变得过小的技术问题。例如，在通过波长可变干涉滤波器的2次峰值取出目标波长400nm的光的情况下，可以将反射膜间的间隙设定为340nm，为了通过1次峰值取出目标波长400nm的光，需要将反射膜间的间隙缩小至140nm。在这种情况下，例如如果在反射膜间存在目标间隙以上的尺寸的异物等时，存在在反射膜间夹有异物，引起波长可变干涉滤波器动作不良，无法取出目标波长的光这种技术问题。

在先技术文献

专利文献

专利文献：日本专利特开平1-94312号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供能够抑制由异物引起的动作不良、且实现提高间隙控制的精度的光学模块、电子设备及驱动方法。

本发明的光学模块的特征在于，具备第一反射膜，使入射光的一部分透过一部分反射；第二反射膜，与上述第一反射膜相对配置、使入射光的一部分透过一部分反射；间隙变更部，改变上述第一反射膜及上述第二反射膜之间的间隙的大小；以及间隙控制部，控制上述间隙变更部，上述间隙控制部根据测定对象波长、以及对两个以上的波长区域分别设定的光谱的次数控制上述间隙变更部。

在本发明中，取得通过第一反射膜及第二反射膜取出的光中的、与测定对象波长相应的次数的峰值波长的光。即，如果对由彼此相对的第一反射膜及第二反射膜构成的法布里-帕罗标准具入射光，则根据下述式（1）取出规定波长的光。

数学式1

mλ＝2ndcosθ…（1）

在上述式（1）中，λ是取出的光的波长，θ是入射光的入射角，n是第一反射膜及第二反射膜之间的介质的折射率，d是第一反射膜及第二反射膜的距离（间隙），m是次数，相当于本发明的光谱的次数。此外，实际上，由于第一反射膜和第二反射膜的膜厚，以及光学特性，支撑这些第一反射膜及第二反射膜的基板等因素，存在通过第一反射膜及第二反射膜取出的光的波长λ与式（1）稍有偏离的情况。

如式（1）所示，通过第一反射膜及第二反射膜取出的光，形成具有与次数m（m=1，2，3，4…）对应的多个峰值波长的光谱。

此处，在本发明中，间隙控制部根据对两个以上的波长区域的每一个分别设定的次数m，设定第一反射膜及第二反射膜的间隙（即式（1）中的d）。

例如，在对波长区域400nm～600nm设定次数m=2，对波长区域620nm～700设定次数m=1的情况下，在取出400nm的光作为测定对象波长的情况下，间隙控制部控制间隙变更部，控制为能够通过2次峰值波长取出400nm的光的间隙d=340nm。另外，在取出700nm的光作为测定对象波长的情况下，间隙控制部控制间隙变更部，控制为能够通过1次峰值波长取出700nm的光的间隙d=296nm。

在这样的本发明中，以与测定对象波长相应的次数的峰值波长取出该测定对象波长的光，因而例如在取出短波长的光的情况下，将次数设定为较高而通过高次峰值波长取出该短波长的光，由此能够增大第一反射膜及第二反射膜之间的间隙，从而能够降低在反射膜间夹有异物、无法取出需要的波长的光的不良现象。