[发明专利]MOCVD自动控制器

权利要求书

1.MOCVD自动控制器，由权限控管模块（1）、资料收集模块（2）、控制接口（3）、设备接口（4）、外部控制器（5）、MOCVD设备（6）、命令执行模块（7）、集成面板（8）、程序控制模块（9）组成，其特征是集成面板（8）的一端上侧设置控制接口（3），控制接口（3）的下侧设置设备接口（4），集成面板（8）的一侧上部设置资料收集模块（2），集成面板（8）的一侧下部设置程序控制模块（9），集成面板（8）的另一侧上部设置权限控管模块（1），集成面板（8）的另一侧下部设置命令执行模块（7），外部控制器（5）通过馈线与控制接口（3）相连接，MOCVD设备（6）通过馈线与设备接口（4）相连接。

2.根据权利要求1所述的MOCVD自动控制器，其特征在于权限控管模块（1）与资料收集模块（2）通过数据线相连接，控管作业程序加密数据，对数据进行加密储存和解密卸载。

3.根据权利要求1所述的MOCVD自动控制器，其特征在于资料收集模块（2）与程序控制模块（9）通过数据线相连接，通过程序控制模块（9）收集、传输MOCVD设备（6）的相关数据资料。

4.根据权利要求1所述的MOCVD自动控制器，其特征在于命令执行模块（7）与程序控制模块（9）通过数据线相连接，将作业程序数据传入程序控制模块（9）。

5.根据权利要求1所述的MOCVD自动控制器，其特征在于程序控制模块（9）与资料收集模块（2）通过数据线相连接，通过资料收集模块（2）获取MOCVD设备（6）的数据，结合命令执行模块（7）选择的作业程序驱动MOCVD设备（6）作业。